SiC-belagd wafervärmare

Semicorex är en ledande oberoende ägd tillverkare av kiselkarbidbelagd grafit, precisionsbearbetad högrenhetsgrafit med fokus på kiselkarbidbelagd grafit, kiselkarbidkeramik, MOCVP inom halvledartillverkning. Vår SiC Coated Wafer Heater har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex SiC Coated Wafer Heater kan arbeta i högtemperaturugnen med över 3000 °C i en inert atmosfär, 2200 °C i vakuum. Den högrena SiC Coated Wafer Heater ger överlägsen värmebeständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och motståndskraft, och hållbar kemisk beständighet. Fin SiC-kristallbeläggning ger en ren, slät yta, kritisk för hantering eftersom orörda wafers kommer i kontakt med susceptorn på många punkter över hela sitt område.
På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativ, kostnadseffektiv SiC Coated Wafer Heater, vi prioriterar kundnöjdhet och tillhandahåller kostnadseffektiva lösningar. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner, leverera högkvalitativa produkter och exceptionell kundservice.

Parametrar för SiC Coated Wafer Heater

Teknisk specifikation	VET-M3
Bulkdensitet (g/cm3)	≥1,85
Askinnehåll (PPM)	≤500
Shore hårdhet	≥45
Specifik resistans (μ.Ω.m)	≤12
Flexural Strength (Mpa)	≥40
Kompressionsstyrka (Mpa)	≥70
Max. Kornstorlek (μm)	≤43
Värmeexpansionskoefficient Mm/°C	≤4,4*10-6

Funktioner hos SiC Coated Wafer Heater

- Hög renhet SiC-belagd grafit
- Överlägsen värmebeständighet och termisk enhetlighet
- Fin SiC-kristallbelagd för en slät yta
- Hög hållbarhet mot kemisk rengöring
– Materialet är utformat så att sprickor och delaminering inte uppstår.