Silikon piedestal

Semicorex Silicon Pedestal, en ofta förbisedd men ändå kritiskt viktig komponent, spelar en avgörande roll för att uppnå exakta och repeterbara resultat i halvledardiffusion och oxidationsprocesser. Den specialiserade plattformen, på vilken silikonbåtar vilar i högtemperaturugnar, erbjuder unika fördelar som direkt bidrar till förbättrad temperaturlikformighet, förbättrad waferkvalitet och i slutändan överlägsen prestanda för halvledarenheter.**

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

1. Semicorex Silicon Piedestal stabiliserar bearbetningsmiljön för optimala resultat:

Skapa en stabil grund för kristallbåtar:Silikonpiedestalen ger en robust och termiskt stabil plattform för kiselbåtar i högtemperaturugnskammaren. Denna stabilitet säkerställer att båtarna bibehåller sin position och orientering under hela processen, vilket förhindrar oönskade rörelser eller lutning som kan störa gasflödesdynamiken och äventyra temperaturens enhetlighet.

Förbättra temperaturlikformigheten inom reaktionskammaren:Genom att effektivt isolera kiselbåten från ugnens golv och väggar, minimerar kiselpiedestalen värmeförluster genom ledning och främjar en mer enhetlig temperaturfördelning i det termiska reaktionsröret. Denna förbättrade termiska hanteringsförmåga är avgörande för att uppnå konsekventa och repeterbara diffusions- eller oxidationsprofiler över hela skivans yta.

Öka isoleringseffektiviteten för optimerad energianvändning:Silicon Piedestals inneboende värmeisoleringsegenskaper bidrar till en mer energieffektiv process genom att minimera värmeförlusten till den omgivande miljön. Detta leder till snabbare uppvärmnings- och kylcykler, minskad energiförbrukning och i slutändan lägre totala bearbetningskostnader.

2. Materialsynergi för överlägsen waferkvalitet:

Matchande termisk expansion för minskad waferspänning:Kiselpiedestalen, tillverkad av samma kiselmaterial av hög renhet som själva båtarna och wafers, erbjuder en avgörande fördel jämfört med alternativa material som kvarts eller kiselkarbid. Denna materialsynergi säkerställer att piedestalen, båten och wafers expanderar och drar ihop sig med nästan identiska hastigheter under uppvärmnings- och kylcykler, vilket minimerar risken för termisk stress, waferböjning och kristallografiska defekter som kan påverka enhetens utbyte och prestanda negativt.

Minimera kontaminering och gallerfel:Användningen av högrent kisel för både kiselpiedestalen och båten eliminerar risken för kontaminering från olika material, vilket säkerställer en orörd bearbetningsmiljö för wafers. Denna materialkompatibilitet minimerar också risken för gallerfel vid gränssnittet mellan wafer och båt, vilket ytterligare bidrar till förbättrad kristallkvalitet och minskade defektdensiteter.