Solida kiselkarbidfenor

Semicorex solidkiselkarbidflänsarär vanligtvis installerade som värmeisoleringskomponenter inuti vertikala ugnsrör i halvledarvärmebehandlingsutrustning, såsom RTP-glödgningsugnar och diffusionsugnar. Semicorex solida kiselkarbidflänsar kan effektivt reglera temperaturfördelningen i högtemperaturugnar och minimera värmeskador på processdörrtätningsdelar orsakade av höga temperaturer. Under våta oxidationsförhållanden kan Semicorex fasta kiselkarbidflänsar användas för att effektivt förhindra negativ påverkan på processresultat och halvledarenheter orsakade av kondensation av vattenånga vid relativt låga processtemperaturer.

Fördelarna med Semicorex solida kiselkarbidflänsar

1. Utmärkt slitstyrka

CVD SiC har en polykristallin kubisk kristallstruktur, med exceptionell hårdhet näst efter diamant. Den utmärkta slitstyrkan hos Semicorex solida kiselkarbidfenor tillskrivs denna egenskap, vilket gör att de tål nötning under hantering och utbyte.

2. Överlägsen värmeledningskapacitet

CVD SiC ger utmärkt värmebeständighet och hög temperaturstabilitet, som inte smälter eller mjuknar vid temperaturer upp till ungefär 2000°C och bibehåller sin stabilitet före sublimering med ultrahög temperatur. Tack vare dessa överlägsna termiska egenskaper är Semicorex solida kiselkarbidfenor mycket lämpliga för de utmanande halvledarvärmebehandlingsförhållandena.

3. Ultrahög renlighet

CVD-SiCproduceras utan sintringstillsatser under deponeringsprocessen. Jämfört med konventionell reaktionsbunden kiselkarbid har den mycket högre renhet och når över 99,9995 %. Detta förhindrar effektivt metalliska föroreningar föroreningar av Semicorex fasta kiselkarbidfenor orsakade av höga temperaturer i processmiljöer, vilket perfekt uppfyller renhetskraven för avancerad halvledartillverkning.

4. Pålitlig korrosionsbeständighet

Semicorex fasta kiselkarbidfenor kan motstå starkt oxiderande och starkt sura processgaser som används i halvledarvärmebehandlingsprocesser, på grund av den exceptionella kemiska trögheten hos CVD SiC vid höga temperaturer. Denna pålitliga korrosionsbeständighet förlänger effektivt deras livslängd och sänker kostnaderna för komponentbyten.

5. Exakt bearbetningsnoggrannhet

För att säkerställa kompatibilitet med olika ugnsrör kan Semicorex skräddarsy fenor av massiv kiselkarbid enligt kundens krav på diameter, tjocklek, hålstorlek, planhet och dimensionstoleranser. Denna bearbetningsprecision av hög standard garanterar stabil drift av fenorna i utrustningen och hjälper till att optimera den totala effektiviteten för halvledarvärmebehandlingstillämpningar.