TaC-belagda grafitdelar

Semicorex TaC-belagda grafitdelar är gjorda av isostatisk grafit med hög renhet och är belagda med tantalkarbid (TaC), som ger oöverträffad motståndskraft mot extrema temperaturer. De TaC-belagda grafitdelarna är konstruerade för att motstå de rigorösa förhållanden som uppstår vid tillverkning av halvledarprodukter och är utmärkta på att förbättra olika processer som är avgörande för produktionen av högkvalitativa halvledarprodukter. Deras exceptionella värmebeständighet säkerställer tillförlitlighet och livslängd, även i de mest utmanande termiska miljöerna.

TaC-belagda grafitdelar spelar en avgörande roll för att optimera viktiga halvledarbearbetningstekniker, inklusive diffusionsprocesser, oxidationsglödgning, LPCVD och PECVD. Genom att underlätta exakt kontroll över temperaturen och säkerställa enhetlighet över substrat, bidrar TaC-belagda grafitdelar avsevärt till att förbättra produktkvaliteten och tillverkningseffektiviteten.

Semicorex TaC-belagda grafitdelar är konstruerade för att möta de stränga kraven för halvledartillverkning. Från att förbättra diffusionsprocesser till att förbättra kvaliteten och effektiviteten hos olika deponeringstekniker, TaC Coated Graphite Parts är oumbärliga tillgångar i strävan efter excellens inom halvledartillverkning.