TaC-belagd planetplatta

Semicorex TaC Coated Planetary Plate fungerar som en nyckelkomponent i MOCVD-reaktorer, och uppvisar en planetarisk design som kännetecknas av många waferfickor anordnade längs dess yta. Dessa fickor är speciellt skapade för att på ett tillförlitligt sätt rymma skivorna under tillväxtfasen av vilket epitaxiellt lager, vilket stabiliserar substratskivor och minimerar substratets rörelse under förhöjda processtemperaturer. Den exakta fickgeometrin ger konsekvent waferplacering som är viktig för enhetlig tjocklek på epitaxiella lager och enhetlighetsnivåer av substratdefekter för alla wafers som odlas under samma process.

En viktig designaspekt av planetplattan är återigen den konstruerade spridningen av fina gasflödeshål längs plattans yta. Dessa hål är noggrant designade och strategiskt placerade specifikt för att mäta flödet av prekursorgaser i reaktorn, så enhetlig gasspridning och jämn avsättning uppnås mellan varje wafer. I alla MOCVD-processer är aspekter av gasdynamik avgörande för att bestämma filmkvaliteter, tjocklekslikformighet och övergripande enhetsprestanda. Den optimerade håldesignen påTaC belagdPlanetary Plate säkerställer att alla wafers upplever samma processförhållanden, vilket ger ett optimalt sätt att förbättra utbyte och reproducerbarhet.

DeTaC (tantalkarbid) beläggningförlänger planetplattans prestanda och livslängd ytterligare. Tantalkarbid är extremt hård, kemiskt inert och värmeledande, vilket gör den till en utmärkt beläggning för extrema MOCVD-miljöer. Under epitaxi kommer komponenterna i reaktorn att utsättas för höga temperaturer, reaktiva prekursorgaser och plasmaexponering. TaC-beläggningen fungerar som en robust barriär mot korrosion, oxidation och partikelgenerering för att resultera i en betydande förlängning av planetplattans livslängd än en obelagd eller konventionellt belagd platta.

Den TaC-belagda planetariska plattans livslängd och hållbarhet gör den till ett kostnadseffektivt val för MOCVD-system. Det hållbara TaC-skiktet kan motstå upprepade termiska cykler och exponering för extrema processgaser samtidigt som strukturell integritet och prestandastabilitet bibehålls under långa tidsramar.