TaC-belagd frökristallhållare

TaC-belagd frökristallhållare är en högpresterande komponent speciellt designad för tillväxtmiljön för halvledarmaterial. Som en ledande tillverkare av TTaC-belagda frökristallhållare erbjuder semicorex dig effektiva kärnkomponentlösningar inom det avancerade halvledartillverkningsområdet.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Underlaget förTaC belagdFrökristallhållare är vanligtvis gjord av grafit, kiselkarbid eller kol/kol-kompositmaterial, och sedan appliceras ett lager av TaC-beläggning på dess yta genom avancerad ultrahög temperatur kemisk ångavsättning (CVD) teknologi. Den TaC-belagda frökristallhållaren som tillverkas med denna metod har utmärkt korrosionsbeständighet, supermekanisk hållfasthet, bra högtemperaturbeständighet och effektiv värmeledningsförmåga.

Funktionen hos TaC-belagd frökristallhållare

1.Supportfunktion

Semicorex's TaC-belagda frökristallhållare ger en stabil stödplattform för frökristaller, vilket garanterar att frökristallen bibehåller en fast position under utmanande förhållanden som hög temperatur och högt vakuum. Detta förhindrar effektivt problem som kristallförskjutning eller skador från vibrationer och luftflöde, och säkerställer därmed kontinuiteten och stabiliteten i kristalltillväxten.

2. Skyddseffekt

Den TaC-belagda frökristallhållaren är installerad ovanför grafitdegelns lock och isolerar grafitlocket från högtemperatur Si-ånga. Detta undviker effektivt ånginducerad korrosion och förlänger grafitlockets livslängd. Dessutom hjälper TaC-beläggningens inneboende kemiska stabilitet och termiska temperaturbeständighet också till att minska införandet av föroreningar, vilket ger en stabil och ren miljö för tillväxten av frökristaller.

3. Temperaturkontroll

Semicorex TaC-belagd frökristallhållare använder tillverkningstekniker som ligger i framkant av branschen. Exakt temperaturkontroll av det termiska fältet kan uppnås genom att på ett sakkunnigt sätt optimera deras form, dimensioner och beläggningstjocklek. Detta sänker avsevärt defekthastigheten och främjar effektivt enhetlig kristalltillväxt.