TaC-belagd susceptor

Semicorex TaC Coated Susceptor, gjord av ett grafitbasmaterial, är belagd med tantalkarbid (TaC) för att förbättra dess prestanda och hållbarhet.

Tantalkarbid erbjuder exceptionell termisk stabilitet, vilket gör att den TaC-belagda susceptorn kan motstå extremt höga temperaturer som ofta förekommer i processer som kemisk ångavsättning (CVD) och fysikalisk ångavsättning (PVD). Och TaC-beläggning ger överlägsen motståndskraft mot kemiska reaktioner, oxidation och korrosion, vilket är avgörande för att bibehålla integritet och prestanda i tuffa kemiska miljöer.

De enhetliga och stabila termiska egenskaperna hos TaC Coated Susceptor förbättrar konsistensen och kvaliteten på de processer de används i, vilket leder till bättre utbyte och effektivitet vid halvledartillverkning.

Samtidigt minimerar användningen av TaC från TaC Coated Susceptor risken för kontaminering i halvledarprocesser, vilket är avgörande för att producera rena och defektfria elektroniska komponenter.

Användning av TaC-belagd susceptor:

Halvledartillverkning: Används i CVD- och PVD-processer för att avsätta tunna filmer och epitaxiella lager på halvledarskivor.

LED-produktion: Används vid tillverkning av lysdioder (LED) där exakta och stabila termiska förhållanden krävs.

Solcellstillverkning: Används vid tillverkning av solcellsceller för att förbättra effektiviteten och tillförlitligheten.

Semicorex TaC Coated Susceptor är avgörande i avancerade tillverkningsprocesser där hög termisk stabilitet, kemisk resistens och hållbarhet krävs. Deras tillämpning säkerställer förbättrad prestanda, livslängd och produktkvalitet i högteknologiska industrier.