TaC-belagd Wafer-receptor

Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor är en avgörande komponent som används i ugnar för metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD) för halvledarepitaxial (epi) bearbetning. Denna specialiserade runda susceptor är tillverkad av högkvalitativt grafitmaterial och har en unik tantalkarbid (TaC) beläggning.

Det primära syftet med TaC-beläggningen är att förbättra TaC Coated Wafer Susceptors prestanda och hållbarhet under de krävande förhållandena för halvledartillverkningsprocesser. Tantalkarbid är känt för sin exceptionella hårdhet, höga smältpunkt och motståndskraft mot slitage och korrosion. Dessa egenskaper gör TaC Coated Wafer Susceptor till ett idealiskt val för att skydda den underliggande grafitsusceptorn från kemiska reaktioner och fysiska påfrestningar som uppstår i MOCVD-ugnen.

TaC Coated Wafer Susceptor spelar en viktig roll i den epitaxiella tillväxten av halvledarmaterial genom att underlätta avsättningen av tunna filmer på wafers. Dess förmåga att motstå höga temperaturer och hårda kemiska miljöer är avgörande för att uppnå exakt och pålitlig tillverkning av halvledarenheter.

TaC Coated Wafer Susceptor, med sin grafitkärna och tantalkarbidbeläggning, säkerställer konsekvent och enhetlig värmefördelning, vilket bidrar till reproducerbarheten och kvaliteten hos halvledarskikt som odlas under MOCVD-processen. Denna avancerade materialkombination gör den till en pålitlig och hållbar lösning för halvledartillverkning som uppfyller de stränga kraven för modern tillverkning av elektroniska enheter.