TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett grafitsubstrat med hög renhet med ett fint lager av tantalkarbid genom en egenutvecklad process för kemisk ångavsättning (CVD).
Tantalkarbid (TaC) är en förening som består av tantal och kol. Det har metallisk elektrisk ledningsförmåga och en exceptionellt hög smältpunkt, vilket gör det till ett eldfast keramiskt material känt för sin styrka, hårdhet och värme- och slitstyrka. Smältpunkten för tantalkarbider når en topp vid cirka 3880°C beroende på renhet och har en av de högsta smältpunkterna bland de binära föreningarna. Detta gör det till ett attraktivt alternativ när högre temperaturkrav överstiger prestanda som används i epitaxiella processer för sammansatta halvledare som MOCVD och LPE.
Materialdata för Semicorex TaC Coating
Projekt |
Parametrar |
Densitet |
14,3 (gm/cm³) |
Emissionsförmåga |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hårdhet (HK) |
2000 |
Motstånd (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Ändring av grafitdimension |
-10~-20um (referensvärde) |
Beläggningstjocklek |
≥20um typiskt värde (35um±10um) |
|
|
Ovanstående är typiska värden |
|
Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor är en avgörande komponent som används i ugnar för metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD) för halvledarepitaxial (epi) bearbetning. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex TaC Tantalkarbidbelagd platta är en banbrytande lösning utformad för att möta de stränga kraven från halvledartillverkning, särskilt i epitaxial (epi) bearbetningsstadiet. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex TaC Coated Guide Ring, en höjdpunkt av innovation i SiC (kiselkarbid) enkristalltillväxtugnar. Den här styrringen är noggrant utformad för att möta de höga kraven från halvledarindustrin och lovar att omdefiniera dina kristalltillväxtprocesser med oöverträffad precision och tillförlitlighet.
Läs merSkicka förfråganSemicorex banbrytande TaC Coated Graphite Susceptor, en revolutionerande komponent designad för att lyfta din wafer-epitaxialprocess till nya höjder av effektivitet och precision. Semicorex TaC Coated Graphite Susceptor är tillverkad med oöverträffad expertis och använder den senaste tekniken och är konstruerad för att möta de krävande kraven inom halvledartillverkning.
Läs merSkicka förfråganSemicorex tillhandahåller högkvalitativa Tantalkarbidbelagda grafitdelar med skräddarsydd service. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex tillhandahåller tantalkarbidbelagd grafitsusceptor med skräddarsydd service. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan