TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett grafitsubstrat med hög renhet med ett fint lager av tantalkarbid genom en egenutvecklad process för kemisk ångavsättning (CVD).
Tantalkarbid (TaC) är en förening som består av tantal och kol. Det har metallisk elektrisk ledningsförmåga och en exceptionellt hög smältpunkt, vilket gör det till ett eldfast keramiskt material känt för sin styrka, hårdhet och värme- och slitstyrka. Smältpunkten för tantalkarbider når en topp vid cirka 3880°C beroende på renhet och har en av de högsta smältpunkterna bland de binära föreningarna. Detta gör det till ett attraktivt alternativ när högre temperaturkrav överstiger prestanda som används i epitaxiella processer för sammansatta halvledare som MOCVD och LPE.
Materialdata för Semicorex TaC Coating
Projekt |
Parametrar |
Densitet |
14,3 (gm/cm³) |
Emissionsförmåga |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hårdhet (HK) |
2000 |
Motstånd (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Ändring av grafitdimension |
-10~-20um (referensvärde) |
Beläggningstjocklek |
≥20um typiskt värde (35um±10um) |
|
|
Ovanstående är typiska värden |
|
Semicorex TaC Coating Jig står som en central komponent i halvledartillverkningsprocessen, noggrant tillverkad av grafit och förstärkt med ett fjädrande lager av tantalkarbidbeläggning. Detta avgörande utrustningselement förkroppsligar en blandning av banbrytande materialvetenskap och precisionsteknik, designad för att upprätthålla stränga operativa krav och krävande standarder som är vanliga inom halvledartillverkning. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex TaC Coating Susceptor representerar en höjdpunkt inom materialteknik, noggrant tillverkad av högkvalitativ grafit och förstärkt med en tantalkarbidbeläggning. Denna innovativa komponent är främst framtagen för sysselsättning inom SiC-kristalltillväxt och SiC-epitaxialprocesser, och står som en ledstjärna för hållbarhet och prestanda i extrema termiska och kemiska miljöer. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex tantalkarbidbelagd ring är en avgörande komponent som används vid halvledarbearbetning. Den är designad med en specialiserad beläggning som har flera funktioner för att förbättra effektiviteten och livslängden hos grafitkomponenter inom halvledarmaskineri. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex TaC Coated Graphite Parts är precisionstillverkade komponenter som är speciellt designade för att klara den krävande miljön med halvledarbearbetning. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex TaC Coating Graphite Cover representerar en banbrytande lösning inom termiska tillämpningar för kristalltillväxt och epitaxiella (epi) processer. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex TaC Coating Ring står som en central komponent i riket av monokristalltillväxt inom det termiska fältet. Tillverkad med precision och innovation spelar denna specialiserade styrring en avgörande roll i den invecklade processen för produktion av monokristallina material. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan