TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett grafitsubstrat med hög renhet med ett fint lager av tantalkarbid genom en egenutvecklad process för kemisk ångavsättning (CVD).
Tantalkarbid (TaC) är en förening som består av tantal och kol. Det har metallisk elektrisk ledningsförmåga och en exceptionellt hög smältpunkt, vilket gör det till ett eldfast keramiskt material känt för sin styrka, hårdhet och värme- och slitstyrka. Smältpunkten för tantalkarbider når en topp vid cirka 3880°C beroende på renhet och har en av de högsta smältpunkterna bland de binära föreningarna. Detta gör det till ett attraktivt alternativ när högre temperaturkrav överstiger prestanda som används i epitaxiella processer för sammansatta halvledare som MOCVD och LPE.
Materialdata för Semicorex TaC Coating
Projekt |
Parametrar |
Densitet |
14,3 (gm/cm³) |
Emissionsförmåga |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hårdhet (HK) |
2000 |
Motstånd (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Ändring av grafitdimension |
-10~-20um (referensvärde) |
Beläggningstjocklek |
≥20um typiskt värde (35um±10um) |
|
|
Ovanstående är typiska värden |
|
Semicorex TaC Coating Chuck, den banbrytande vakuumchucken utrustad med TaC-beläggningar, speciellt designad för halvledarugnar. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganDu kan vara säker på att köpa TaC Coating Epitaxial Plate från vår fabrik. Semicorex TaC (Tantalum Carbide) beläggning epitaxial platta ståtar med exceptionell värmebeständighet, vilket gör den idealisk för applikationer som utsätts för höga temperaturer. Dess anmärkningsvärda förmåga att motstå värme säkerställer hållbarhet och tillförlitlighet i krävande miljöer. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex TaC Coated Plate är en specialiserad skiva designad för användning i SiC epitaxiella processer, tillverkad med precision av högkvalitativt grafitmaterial. Dess yta är noggrant belagd med tantalkarbid (TaC), en förening känd för sin exceptionella renhet och styrka. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex TaC Coating Jig står som en central komponent i halvledartillverkningsprocessen, noggrant tillverkad av grafit och förstärkt med ett fjädrande lager av tantalkarbidbeläggning. Detta avgörande utrustningselement förkroppsligar en blandning av banbrytande materialvetenskap och precisionsteknik, designad för att upprätthålla stränga operativa krav och krävande standarder som är vanliga inom halvledartillverkning. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex TaC Coating Susceptor representerar en höjdpunkt inom materialteknik, noggrant tillverkad av högkvalitativ grafit och förstärkt med en tantalkarbidbeläggning. Denna innovativa komponent är främst framtagen för sysselsättning inom SiC-kristalltillväxt och SiC-epitaxialprocesser, och står som en ledstjärna för hållbarhet och prestanda i extrema termiska och kemiska miljöer. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex tantalkarbidbelagd ring är en avgörande komponent som används vid halvledarbearbetning. Den är designad med en specialiserad beläggning som har flera funktioner för att förbättra effektiviteten och livslängden hos grafitkomponenter inom halvledarmaskineri. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan