TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett grafitsubstrat med hög renhet med ett fint lager av tantalkarbid genom en egenutvecklad process för kemisk ångavsättning (CVD).
Tantalkarbid (TaC) är en förening som består av tantal och kol. Det har metallisk elektrisk ledningsförmåga och en exceptionellt hög smältpunkt, vilket gör det till ett eldfast keramiskt material känt för sin styrka, hårdhet och värme- och slitstyrka. Smältpunkten för tantalkarbider når en topp vid cirka 3880°C beroende på renhet och har en av de högsta smältpunkterna bland de binära föreningarna. Detta gör det till ett attraktivt alternativ när högre temperaturkrav överstiger prestanda som används i epitaxiella processer för sammansatta halvledare som MOCVD och LPE.
Materialdata för Semicorex TaC Coating
Projekt |
Parametrar |
Densitet |
14,3 (gm/cm³) |
Emissionsförmåga |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hårdhet (HK) |
2000 |
Motstånd (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Ändring av grafitdimension |
-10~-20um (referensvärde) |
Beläggningstjocklek |
≥20um typiskt värde (35um±10um) |
|
|
Ovanstående är typiska värden |
|
Semicorex TaC Coating Guide Ring fungerar som en viktig del i utrustning för metall-organisk kemisk ångavsättning (MOCVD), vilket säkerställer den exakta och stabila leveransen av prekursorgaser under den epitaxiella tillväxtprocessen. TaC Coating Guide Ring representerar en serie egenskaper som gör den idealisk för att motstå de extrema förhållanden som finns i MOCVD-reaktorkammaren.**
Läs merSkicka förfråganSemicorex TaC Coating Wafer Chuck står som höjdpunkten av innovation i halvledarepitaxiprocessen, en kritisk fas i halvledartillverkning. Med vårt åtagande att leverera högkvalitativa produkter till konkurrenskraftiga priser, är vi redo att vara din långsiktiga partner i Kina.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex MOCVD Susceptor med TaC Coating är en banbrytande komponent noggrant utformad för optimal prestanda i halvledarepitaxiprocesser inom MOCVD-system. Semicorex är orubbligt i vårt engagemang för att leverera överlägsna produkter till mycket konkurrenskraftiga priser. Vi är angelägna om att etablera ett varaktigt partnerskap med dig i Kina.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex CVD TaC Coated Ring regerar som en kritisk komponent i halvledarbearbetning, som symboliserar zenit av modern materialteknik. Tillverkad för implementering i de mest rigorösa miljöer där precision och tillförlitlighet råder, den här ringen förkroppsligar fusionen av banbrytande beläggningstekniker med elastisk materialvetenskap. Semicorex levererar ständigt förstklassiga produkter till konkurrenskraftiga priser, och vi ser fram emot ett långvarigt partnerskap med dig i Kina.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex TaC Coated Planetary Susceptor är en högspecialiserad komponent designad för användning i de epitaxiella processerna vid halvledartillverkning. Semicorex är dedikerade till att leverera högkvalitativa produkter till konkurrenskraftiga priser. Vi är angelägna om att etablera ett långsiktigt partnerskap med dig i Kina.*
Läs merSkicka förfråganSemicorex Tantalum Carbide Coating Guide Ring är en avancerad komponent speciellt designad för halvledarindustrin, som spelar en avgörande roll i tillväxten av kiselkarbid (SiC) kristaller. Denna produkt är konstruerad för att möta de stränga kraven från miljöer med hög temperatur och hög stress som är inneboende i processer för tillväxt av halvledarkristaller. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina*.
Läs merSkicka förfrågan