Tantalkarbidbelagda styrringar

Styrringar installeras vanligtvis ovanför grafitdegeln i det termiska fältsystemet. De arbetar tillsammans med degeln, värmaren och värmeisoleringscylindern och andra halvledarkomponenter för att styra och kontrollera distributionen av värme och processgaser.

Afördelarav Tantalum Hårdmetallbeläggning

Känd för sin överlägsna prestandaTaC-beläggningi tredje generationens halvledartillväxttillämpningar med enkristall, erbjuder tantalkarbidbeläggning följande fördelar:

1. Exceptionell termisk stabilitet

Tantalkarbid har enastående termisk motståndskraft, med en ultrahög smältpunkt på 3880 ℃. Med denna exceptionella termiska stabilitet kan Semicorex tantalkarbidbelagda styrringar användas stabilt i högtemperaturmiljöer under 2500 ℃. Dessutom minimerar kombinationen av dessa två material riskerna för att beläggningen spricker och flagnar orsakad av temperaturförändringar, vilket avsevärt möjliggör komponentens strukturella integritet under upprepade uppvärmnings- och kylningsprocesser.

2. Anmärkningsvärd korrosionsbeständighet

Tantalkarbid har en anmärkningsvärd korrosionsbeständighet och oxidationsbeständighet och är kemiskt inert mot de flesta reaktiva gaser som ammoniak, väte och kisel. På grund av denna kemiska stabilitet förhindrar Semicorex tantalkarbidbelagda styrringar effektivt reaktiva gaser från att erodera matrisen och skada deras strukturella integritet, samtidigt som man undviker risken för kontaminering från reaktanter och föroreningar som kommer in i kristallstrukturen.

Prestandan hos Semicorex tantalkarbidbelagda styrringar

Semicorextantalkarbidbelagda styrringaranvänd högren grafit som matris och avsätt TaC-beläggningen på ytan via CVD-teknik. Kombinationen av dessa två material gör att Semicorex tantalkarbidbelagda styrringar ger följande fördelar:

1. Gasflödesledning och flödesfältoptimering

Under kristalltillväxt hjälper användningen av styrringar till att optimera flödesfördelningen inom det termiska fältet och riktar reaktiva gaser mot en kontrollerbar flödesriktning och jämn fördelning. Tack vare sin speciella strukturella design kan Semicorex tantalkarbidbelagda styrringar styra gasen att flöda och fördela sig jämnt, vilket effektivt undviker alltför höga eller låga lokala gaskoncentrationer.

2. Temperaturreglering och termisk fältoptimering

Semicorex tantalkarbidbelagda styrringar uppvisar överlägsen värmeledningsförmåga och spelar en avgörande roll för att hjälpa till att reglera temperaturfördelningen och ge ett stabilt temperaturfält för kristalltillväxt. Till exempel kan Semicorex tantalkarbidbelagda styrringar hjälpa till att bibehålla temperaturgradienten i PVT-tillväxten av kiselkarbidkristaller, vilket säkerställer att materialen sönderdelas, transporteras och kristalliseras under lämpliga förhållanden.