Teflonkassetter

Semicorex Teflon-kassetter är högpresterande skivbärare specifikt konstruerade för användning i krävande kemiska miljöer där renhet, kemisk resistens och termisk stabilitet är väsentliga. Dessa kassetter tillverkas av hög renhet polytetrafluoroetylen (PTFE), dessa kassetter i halvledartillverkning, våt etsning, kemisk rengöring och andra tillämpningar där exponering för mycket aggressiva kemikalier är rutinmässiga. Deras icke-reaktiva natur gör dem idealiska för att hantera känsliga underlag som kiselskivor, glaspaneler och andra precisionskomponenter utan att införa föroreningar eller partiklar i processen.

I olika processer för halvledartillverkning, såsom litografi, etsning och jonimplantation, spelar kassetter en roll i att transportera och överföra skivor mellan olika enheter. Olika processutrustning kan ha olika gränssnittskrav för kassetter för att säkerställa att skivbärare kan tas emot och placeras exakt.

Ur perspektivet av material och design har material som är värmebeständiga, utmärkta mekaniska egenskaper, dimensionell stabilitet och är hållbara, antistatiska, låga utgasande, låg nederbörd och återvinningsbara används vanligtvis. Olika skivstorlekar, processnoder och processer använder olika material. De allmänna materialen är PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP, etc.

Teflonkassetter erbjuder överlägsen kemisk resistens i miljöer med hjälp av hydrofluorinsyra, salpetersyra, svavelsyra och andra starka frätningar. Till skillnad från konventionella material som polypropylen eller rostfritt stål försämrar PTFE inte; sväller inte; Lakar inga ämnen i hårda kemiska bad. Prestanda garanteras därför under långa perioder och därmed kassetternas tillförlitlighet för produktionslinjer med hög kapacitet och ultra-rena miljöer. Dess robusthet innebär lägre underhållsbehov och ersättningsfrekvens, vilket minskar långsiktiga driftskostnader.

Teflonkassetter visar mycket hög termisk stabilitet. De kan lätt motstå temperaturer från -200 ° C till +260 ° C, tillämpliga för kryogena såväl som för högtemperaturprocesser. Även placerade i uppvärmda torkkamrar eller kalla kemiska bad, förlorar kassetterna inte sin strukturella styrka; De varpar inte eller spricker, vilket säkerställer att skivor kommer att förbli säkert under bearbetning. Denna temperaturmotståndskraft bidrar avsevärt till bearbetningskontroll och enhetlighet, som är kritiska för tillverkar- och MEMS -tillverkning.

Ett lika viktigt kännetecken för teflonkassetter är dess inerta, non-stick yta. PTFE tillåter i sig inte adsorption av partiklar och kemiska rester, vilket minskar riskerna för föroreningar i renrumsmiljöer. Detta måste kopplas till en slät ytfinish som gör att sköljning enkelt och torkar snabbt, därmed renare resultat och snabbare cykeltider. Vid halvledarbearbetning, där defekter kan orsakas av även mikroskopiska föroreningar, är denna renhet och kemisk inerthetsnivå obligatorisk.

Varje kassett görs exakt till täta storlekstoleranser, vilket garanterar en stabil waferinriktning och avstånd medan du flyttas och placeras i vätska. Deras lätt utformade form hjälper snabbt kemiskt flöde och dränering, vilket påskyndar kemiska växelkurser och förbättrar rengöring eller etsning enhetlighet på skivytan.  Kassetterna finns i standardstorlekar för 4-tums, 6-tums och 8-tums skivor, med anpassningsalternativ tillgängliga för att passa specifika substratdimensioner, spårräkningar och hanteringskrav.

Teflon -kassetter är designade för kompatibilitet med automatiserade våta bänkar och robotskivhanteringssystem och integreras enkelt i de flesta halvledarproduktionsinställningar. Deras robusta konstruktion och rena rumskvalitet uppfyller de stränga kraven från iso-certifierade miljöer. Alla kassetter genomgår grundlig inspektion och rengörs i ultratat vatten för att uppfylla de renlighetsstandarder som krävs för avancerad mikroelektronikproduktion. Certifikat för överensstämmelse och fullmaterialspårbarhet kan tillhandahållas för att säkerställa att kvalitetssäkringsprotokollen överensstämmer.