Övre halvmånen

Semicorex Upper Half Moon är en halvcirkulär skivbärare som är noggrant konstruerad för epitaxial bearbetningsutrustning. Som en kritisk signalkomponent i den epitaxiella tillväxtprocessen är denna del utformad för att stödja och stabilisera kiselskivorna under hög temperaturkemisk ångavsättning (CVD). Tillverkad av grafit med hög renhet och skyddad med en enhetlig kiselkarbidbeläggning (SIC) -beläggning, kombinerar den övre halvmånen mekanisk robusthet, utmärkt värmeledningsförmåga och exceptionell korrosionsbeständighet för att möta kraven på högprecision.

Denna produkt härleder sitt namn från sin distinkta halvmåne-geometri, som är specialbyggd för specifika rotationsplattformar i enstaka eller multi-wafer epitaxial reaktorer. Dess unika form underlättar inte bara enhetligt gasflöde och termisk distribution utan möjliggör också enkel integration i befintliga uppvärmnings- och rotationsenheter. Den halvcirkulära designen säkerställer optimal skivpositionering, minimerar termisk stress och spelar en nyckelroll för att uppnå enhetlig epitaxial filmtjocklek över hela skivytan.

Den övre halvmåneprodukten inkluderar ett substrat av ultra-fin-grafit på grund av de kombinerade prestandafördelarna med en stabil ultra-finstruktur vid extremt höga temperaturer i kombination med motstånd mot fel över upprepade körningar. För att utvidga användningen applicerades en tät SIC -beläggning med hög renhet med kemisk ångavsättningsteknologi, som isolerade grafitunderlaget från HCl, CL₂, Silane och andra frätande processgaser. Hur som helst, SIC -beläggningen främjar ett mer hållbart och mer förlängbart liv till både den övre halvmåneprodukten och delarna i dess totalitet och till och med minskar föroreningen av skivmiljön, vilket i slutändan gynnar processutbytet och filmkvaliteten.

Ytfinishen på SIC -skiktet har specificerats och är platt eller smidig för att främja konstant värmeöverföring till ett underlag och konstant filmbildning. SIC -beläggningen förbättrar dessutom komponentresistens mot generering av partiklar, vilket är en nyckelfaktor för defektkänsliga halvledarapplikationer. Prestandaparametrar inklusive mycket låg utgasning och mycket låg deformation över 1200 ° C ger effektiva komponenter för mycket långa driftcykler, vilket minskar systemets drifttid och underhållskostnader.

Semicorex Upper Half Moon är oöverträffad när det gäller toleranser, beläggning enhetlighet och materialval. Vi upprätthåller strikt kvalitetskontroll vid varje steg, från grafitbearbetningen, till avsättningen av SIC -beläggningar och slutlig inspektion, vilket säkerställer att varje enhet uppfyller de stränga standarder som krävs av halvledarutrustning. Dessutom erkänns vår erfarenhet av att anpassa geometrier, tjocklekar och ytbehandlingar att tillämpas på nästan alla former av epitaxyplattformar.

Den övre halvmånen är kritiskt viktig för skivstabilitet, termisk enhetlighet och kontamineringskontroll för kisel eller sammansatt halvledarepitaxi. Följaktligen utnyttjar Semicorex oöverträffad expertis, materialteknologi och tillverkningskonsistens för att uppnå kundernas förväntningar på tillförlitliga, högpresterande susceptorkomponenter.