Porösa aluminiumoxidchuckar

Semicorex porösa aluminiumoxidchuckar är specialbyggda för de mest känsliga skivorna. Deras porösa design ger försäkran om konsekvent vakuumfördelning över chuckytan, vilket säkerställer minskad lokal stress och hjälper till att förhindra kantflisning och brott. Mekanisk klämma (fast eller på annat sätt) är inte lika effektivt som det mikroporösa nätverket som har till och med känsliga skivor utan att överdriva mekanisk stress samtidigt som man fixerar skivan säkert, eftersom den mikroporösa strukturen förhindrar slitage och ger ett mjukt grepp. Behovet av enhetlig adsorption över hela Chuck -ytan är särskilt kritiskt för skivor som är större och tunnare som kan tolerera mycket mindre stress under automatiserad hantering och vid genomförande av hög precisionsbehandlingssteg.

Chucken är optimerad för 35-40% porositet och utvecklar ett nätverk av sammankopplande porer som tjänar till att evakuera luften samtidigt som den ger tillräckligt med mekanisk styrka för att hålla skivan på plats mot processkrafter. Detta innebär att vakuumhållkraften förblir stabil när du flyttar skivorna, även i snabb följd, medan du utför en komplex processsekvens. Adsorption i ett mikroporöst nätverk ger mer stabilitet än genom att helt enkelt skapa skillnader i tryck inom vakuumsystemet.

Svart aluminiumoxid (Al₂o₃), i sig är det ultimata materialet eftersom det är svårt, slitstöd och kemiskt inert. Det kommer inte att försämra någon märkbar yta och påverkas inte genom upprepade cykler av skivan (placering/ vakuumadsorption/ kylning). Den svartaaluminiumoxidär dimensionellt stabilt, kommer därför inte att förändras trots temperaturförändringar som inträffar naturligt under processen (uppvärmning och kylning) eller i miljön.

Kemiskt motstånd är en annan viktig fördel med svart aluminiumoxid. Chucken kan arbeta i aggressiva rengörings-, plasma- och etsningsmiljöer utan att kompromissa med dess strukturella integritet. Dess inerthet förhindrar förorening av skivytan, vilket säkerställer hög processrenhet och efterlevnad av renrumsstandarder.

Den mikroporösa strukturen erbjuder också en stödjande yta som lindrar spänningskoncentrationen på tunna och spröda skivor. I tandem med exakt ytflathet och slät ytfinish kommer de porösa aluminiumoxidchuckarna att minimera förekomsten av mikrosprickor och repor som kan äventyra integriteten hos skivan vid handen.

Keramik i aluminiumoxidhar utmärkt hårdhet, hög mekanisk styrka, låg termisk expansionskoefficient och utmärkt termisk stabilitet vilket gör det till ett praktiskt material för en precisionssemikonteringsapplikation. Dessutom innebär dess kemiska inerthet att den tål syror, alkalier och plasma, medan slitstyrka egenskaper säkerställer hållbarhet, dessa fördelar gör aluminiumoxid det material som valts för mikroporösa vakuumchuckar och ger både tillförlitlighet och förutsägbarhet av prestanda.

Sammanfattningsvis är de porösa aluminiumoxidchuckarna utformade för att leverera enhetlig och överlevande skivhantering. Dess mikroporösa svarta aluminiumoxidstruktur erbjuder även vakuumadsorption (enhetlighet) samtidigt som mekanisk stress och minskning av skivskador minimeras. Som en chuck hjälper den betydande och optimala porositeten tillsammans med enastående termiska, mekaniska och kemiska egenskaper, att optimera skivsäkerhet, värde och tillförlitlighet i drift i hårda tillverkningsförhållanden. Den utmärkta kombinationen av robust, enhetlig och säker hantering som de porösa aluminiumoxidchuckarna kan erbjuda tillverkare är helt enkelt sällsynta och unika.