Kiselkarbidchuckar

Semicorexkiselkarbidchuckarär funktionella adsorptionsanordningar gjorda avkiselkarbid(SiC) keramiskt material. De används främst inom halvledare, solceller, precisionstillverkning och andra scenarier som har extremt höga krav på hög temperaturbeständighet, slitstyrka, kemisk korrosionsbeständighet och materialrenhet.

SiC keramiskt material har hög temperaturbeständighet och bibehåller sin strukturella stabilitet i högtemperaturmiljöer. Dess utmärkta värmeledningsförmåga gör att den snabbt kan avleda värme som genereras under adsorption, vilket förhindrar överhettning av arbetsstycket. Materialets exceptionella hårdhet gör det lämpligt för att greppa grova eller hårda arbetsstycken. Dessutom gör den kemiska trögheten hos SiC-keramiskt material det motståndskraftigt mot korrosion av starka syror, starka alkalier och organiska lösningsmedel. Den låga föroreningsutfällningens prestanda hos detta material undviker föroreningar och förlänger utrustningens normala drifttid, vilket uppfyller de ultrarena kraven från halvledarindustrin.

Typiska egenskaper för Semicorex kiselkarbidchuckar

1.Hög precision: planheten är 0,3-0,5μm.

2. Spegelpolering

3. Ultralätt vikt

4.Hög styvhet

5.Låg termisk expansionskoefficient

Fotovoltaisk cellproduktion

Applikationen Scenarier av kiselkarbidchuckar

Tillverkning av halvledare

Waferöverföring och bearbetning: I processer som fotolitografi och etsning måste wafern vara stabilt adsorberad i en vakuummiljö för att undvika förskjutningsfel.

Plasmakorrosionsbeständighet: I halvledaretsningsprocessen kan utmärkt korrosionsbeständighet förlänga produktens livslängd.

Fotovoltaisk cellproduktion

Skärning av kiselskivor: Adsorberar kiselskivor för att motstå skärvibrationer och minska fragmenteringshastigheten hos kiselskivor.

Precisionsoptik och elektroniktillverkning

Bearbetning av safirsubstrat: Safirsubstrat som används vid tillverkning av LED-chip kräver vakuumadsorption. Adsorptionskraften måste övervinna vikten av substratet och undvika att repa produktytan.

Kiselkarbidchuckar har blivit viktiga förbrukningsvaror inom high-end tillverkningsområdet på grund av deras utmärkta prestanda, vilket främjar tekniska framsteg inom industrier som halvledare, solceller och recisionstillverkning.