Anpassad porös keramisk chuck

Anpassadporös keramisk chuckomfattar basen och den porösa keramiska plattan. Anslutning till ett vakuumsystem skapas lågtrycksmiljön genom att evakuera luften mellan wafern och keramiken. Under vakuum undertryck är skivan stadigt vidhäftad på chuckytan, vilket slutligen uppnår säker och stabil fixering och positionering.

Semicorex prioriterar konsekvent de grundläggande behoven hos våra uppskattade kunder samtidigt som de tillhandahåller exklusiva och personliga tjänster. Vi erbjuder ett varierat urval av alternativ som säkerställer att de slutliga skräddarsydda porösa keramiska chuckarna sömlöst anpassar sig till arbetsstycken av olika former och storlekar, och därigenom förbättrar utrustningens driftseffektivitet och produktionsstabilitet.

Specifikationerna:

Precisionsbearbetad skräddarsydd porös keramisk chuck ger en jämn fördelning av adsorptionskraften över arbetsstyckets yta, vilket effektivt förhindrar deformation av arbetsstycket eller bearbetningsfelaktigheter orsakade av ojämn kraftapplicering. Dessutom, tack vare sin starka kemiska korrosionsbeständighet och exceptionella högtemperaturbeständighet, bibehåller den skräddarsydda porösa keramiska chucken stabil långtidsdrift i utmanande och komplexa produktionsmiljöer.

Applikationsscenarierna:

1. Semiconductor Manufacturing: Waferbearbetning såsom waferförtunning, tärning, slipning, polering; kemisk ångavsättning (CVD) och fysisk ångavsättning (PVD) process; jonimplantation.

2. Tillverkning av fotovoltaiska celler: tärning, beläggning och förpackningsprocesser av kiselskivor i fotovoltaiska celler.

3. Precisionsbearbetning: Fastspänning och fixering av tunna, ömtåliga eller högprecisionsarbetsstycken.