Semicorex ICP Plasma Etching Tray är konstruerad specifikt för högtemperaturwaferhanteringsprocesser som epitaxi och MOCVD. Med en stabil oxidationsbeständighet vid hög temperatur på upp till 1600°C ger våra bärare jämna termiska profiler, laminära gasflödesmönster och förhindrar kontaminering eller diffusion av föroreningar.
Vår ICP plasmaetsbricka är kiselkarbidbelagd med CVD-metoden, vilket är den idealiska lösningen för processer för waferhantering som kräver hög temperatur och hård kemisk rengöring. Semicorex bärare har en fin SiC-kristallbeläggning som ger jämna termiska profiler, laminära gasflödesmönster och förhindrar kontaminering eller diffusion av föroreningar.
På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativa, kostnadseffektiva produkter till våra kunder. Vår ICP plasmaetsbricka har en prisfördel och exporteras till många europeiska och amerikanska marknader. Vi strävar efter att vara din långsiktiga partner som levererar konsekventa kvalitetsprodukter och exceptionell kundservice.
Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår ICP Plasma Etching bricka.
Parametrar för ICP plasmaetsningsbricka
Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning |
||
SiC-CVD-egenskaper |
||
Kristallstruktur |
FCC β-fas |
|
Densitet |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhet |
Vickers hårdhet |
2500 |
Kornstorlek |
μm |
2~10 |
Kemisk renhet |
% |
99.99995 |
Värmekapacitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Felexural styrka |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Youngs modul |
Gpa (4pt böj, 1300 ℃) |
430 |
Termisk expansion (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Värmeledningsförmåga |
(W/mK) |
300 |
Funktioner hos ICP Plasma Etching Tray
- Undvik att skala av och säkerställ beläggning på alla ytor
Oxidationsbeständighet vid hög temperatur: Stabil vid höga temperaturer upp till 1600°C
Hög renhet: tillverkad av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.
Korrosionsbeständighet: hög hårdhet, tät yta och fina partiklar.
Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
- Uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret
- Garanterar jämnhet av termisk profil
- Förhindra all kontaminering eller spridning av föroreningar