Kvarts flytande lagringstank

Semicorex Quartz Liquid Storage Tank är en specialbyggd behållare för halvledarens våta rena applikationer där vätskehantering kräver en extraordinär nivå av renhet och stabilitet hos material. I första hand används denna tank för att samla avfall eller återstående vätskor från skivrengöringsapplikationer. Det är ovärderligt för processproduktivitet och kontamineringskontroll. Under en våt ren process innebär halvledarskivor sköljning stora volymer ultrapure vatten eller kemiska reagens som blir avfallsvätska i slutet av sköljningen. Dessutom måste restvätska efter sköljning samlas in eftersom den har potentiella spårföroreningar, eller värdefulla kemiska beståndsdelar som inte får gå ner i avloppet. Avfallsvätska måste också samlas in när beläggningssteg utförs, såsom fotoresistapplikationer, där extra rester eller avfallskemikalie måste samlas in. Således har kvartsvätsketanken de perfekta leveranserna för att ge hög renhet, kemisk kompatibilitet och låga förorenande egenskaper.

Tanken är gjord av hög renhet smält kvarts som är mycket resistent mot starka syror, alkalier och lösningsmedel som regelbundet används vid halvledarrengöring och litografi. Oavsett om en konventionell behållare ger kvarts bitarna flytande material den bästa chansen för ingen sekundär förorenande exponering, lakning eller oönskad jonexponering. En av de ledande aspekterna av kvartsvätsketanken är förmågan att stödja analytiska arbetsflöden i halvledar -fabs, eftersom de återstående vätskorna som samlas in i ett kvartsfartyg kan användas i nedströmsprocesser såsom föroreningsdetektering, kontamineringsanalys och kemisk återvinning. Innehåller egenskaperna hos kvarts kan den säkert innehålla restvätskor och möjliggöra visuell bedömning utan risk för interaktion med tanke på dess inerthet och transparens, utöver dess termiska stabilitet, vilket gör det möjligt att vätska i tanken påskyndas till någon processtemperatur utan risk för att bryta eller påverka vätskan. Som sagt, kvartsvätsketanken är utformad för både avfallsinsamling och kortvarig lagring innan de överförs eller behandlas.

Varje detalj i processkontamineringskontrollen är viktig, särskilt när tillverkningsnoder för avancerade enheter krymper och renlighetsparametrar blir strängare. Kvartens flytande lagringstank garanterar Fab -operatörer är övertygade om att avfallshantering inte blir en källa till sekundär förorening. Genom att innehålla återstående rengöringslösningar eller överskottsprocessvätskor förhindrar det att uppströms och nedströms arbetsflöden genomförs giltigt. Dessutom stöder tanken en FAB: s hållbarhetsmål, eftersom insamlade vätskor kan behandlas för reagensrening och återanvändning, vilket använder en annan mindre kemikalisk intensiv process och resulterar i mindre miljöbelastning totalt sett.

Ur praktisk synvinkel tillåter utformningen av kvartsvätsketanken att den enkelt kan införlivas i våtrengöringshårdvara och kemiska hanteringssystem. Formfaktorn kan anpassas till befintliga verktygskonfigurationer. Precisionstillverkningsmetoder säkerställer de runda dimensionerna och att den släta inre ytan enkelt kommer att transportera och lagra alla vätskor i din halvledar Fab -miljö. En icke-porös kvartstruktur kommer att förhindra absorption av föroreningar och möjliggöra rengöring av tanken, vilket gör den kapabel för återanvändning, till skillnad från konventionella plastbehållare som arbetar i kemiska kontrollerade miljöer vid betydande volymoperationer.

Den nedersta raden, kvartsvätsketanken är speciellt utformad för betydelse i alla halvledarens våtrengöring och beläggningsapplikationer. Genom att skapa bästa möjliga materiella renhet, kemisk resistens och föroreningsfri vätskelagring I en halvledaroperation kan FABS effektivt kontrollera sin process med liten eller ingen övergång av föroreningar. Oavsett om en FAB använder tanken för att få direkt avfallsinsamling, för återhämtning av ett reagens, etc. eller för föroreningsanalys, förblir historien med kritiska steg i processen i originalstat utan att kompromissa med drift. När du vill maximera avkastningen, minimera risken för din arbetsprocess för förlust av stabilitet och maximera effektiviteten i kemisk hantering av biprodukter, är föroreningsfri kvarts det enda valet som erbjuder tillförlitlig prestanda med all din våta rengöring.