Kvartstank för våtbearbetning

Kvartstanken för våtbearbetning, tillverkad av kvarts av halvledarkvalitet, erbjuder exceptionell hållbarhet och icke-reaktivitet mot en mängd olika kemikalier, inklusive svavelsyra (H2SO4), väteperoxid (H2O2) och rena standardlösningar (SC1).

En av de primära användningsområdena för kvartstanken för våtbearbetning i wafertillverkning är rengöring av wafers. Under olika tillverkningssteg kan wafers maskeras för att etsa specifika delar eller för att begränsa diffusion till avsedda områden. När ett visst processsteg är klart måste maskeringsmaterialet rengöras noggrant för att förbereda skivan för nästa steg. Kvartstanken för våtbearbetning spelar en avgörande roll i denna rengöringsprocess, och säkerställer att skivorna rengörs effektivt utan att lämna några rester eller partiklar som skulle kunna kontaminera efterföljande bearbetningssteg.

Förmågan hos Quartz the Tank for Wet Processing att motstå aggressiva kemikalier är avgörande i våtbearbetningsapplikationer. Dessa tankar är designade för att motstå de hårda kemikalier som används i etsnings- och rengöringsprocesser utan att reagera med dem. Denna icke-reaktivitet säkerställer att kemikalierna förblir effektiva och att inga oönskade kemiska reaktioner inträffar som kan äventyra skivornas integritet.

I processer för rengöring av wafers är det viktigt att minimera kontaminering av wafers med partiklar. Semicorex Quartz Tank for Wet Processing är konstruerad för att minska risken för kontaminering, vilket säkerställer att wafers rengörs noggrant och effektivt. Våra kvartstankar kan levereras i uppvärmda och återcirkulerande modeller, vilket möjliggör exakt temperaturkontroll och kontinuerlig cirkulation av rengöringslösningar.

En annan kritisk egenskap hos Semicorex kvartstank för våtbearbetning är den höga termiska resistansen. Dessa tankar kan arbeta vid temperaturer upp till 190°C, lämpliga för processer som involverar uppvärmning av rengörings- eller etslösningarna. Högt termiskt motstånd säkerställer att tankarna bibehåller sin strukturella integritet och prestanda även under förhöjda temperaturer. Detta är särskilt viktigt i processer där temperaturkontroll är avgörande för att uppnå önskat resultat.

Kvartstanken för våtbearbetning uppvisar också låg termisk expansion och hög motståndskraft mot termiska stötar. Låg termisk expansion minimerar risken för sprickbildning eller deformation på grund av temperaturfluktuationer, vilket säkerställer tankarnas livslängd och tillförlitlighet. Högt motstånd mot termiska stötar gör att kvartstankarna tål snabba temperaturförändringar utan att kompromissa med deras strukturella integritet. Dessa termiska egenskaper är väsentliga för att upprätthålla precisionen och tillförlitligheten i våtbearbetningsstegen vid wafertillverkning.

Hög transparens är en annan fördel med Semicorex Quartz Tank for Wet Processing. Genomskinligheten hos kvartsmaterialet möjliggör visuell inspektion av wafers och rengörings- eller etsningslösningarna under bearbetningen. Denna synlighet förbättrar processkontroll och övervakning, vilket säkerställer att eventuella problem kan upptäckas och åtgärdas snabbt. Möjligheten att visuellt övervaka processen är särskilt viktig för att säkerställa kvaliteten och konsistensen av rengörings- och etsstegen för skivorna.

På Semicorex använder vi avancerad bearbetningsteknik för att producera högkvalitativ kvartstank för våtbearbetning. Våra tillverkningsmöjligheter inkluderar diamantklinga och laserskärning i storlek, vilket säkerställer exakta dimensioner och högkvalitativa ytbehandlingar. Vi använder också högpolerade ytor för att minimera risken för partikelbildning och kontaminering. Våra erfarna kvartssvetsare och maskinister skapar kvartstankar med hög renhet med höghållfasta svetsade inlopp och sondhållare, anpassade för att möta våra kunders specifika behov.

För att förbättra prestanda och hållbarhet hos kvartstanken för våtbearbetning glödgar vi dem för att lindra termisk stress. Glödgning är en värmebehandlingsprocess som minskar inre spänningar i kvartsmaterialet, förbättrar dess motståndskraft mot termisk stöt och förbättrar dess totala hållbarhet.

Anpassade storlekar och konfigurationer är viktiga för att möta de olika kraven för tillverkning av halvledarprocesser. På Semicorex erbjuder vi ett brett utbud av anpassade storlekar och konfigurationer för våra kvartstankar, vilket gör att vi kan tillhandahålla lösningar som är skräddarsydda för våra kunders specifika behov. Oavsett om det gäller att lägga till höghållfasta svetsade kvartsinlopp, sondhållare eller andra anpassade funktioner, arbetar vi nära våra kunder för att leverera kvartstankar som uppfyller deras exakta specifikationer.