SiC keramisk paddel

Semicorex SiC keramisk paddel är en avancerad del som utvecklats för högtemperaturhalvledarugnar som oxidation och diffusion. Paddeln fungerar som fribärande stöd för att hålla och flytta wafers vid höga temperaturer. Semicorex SiC keramiska paddel ger keramiska komponenter med hög renhet och hög hållfasthet till högtemperaturprocesser som kräver tillförlitlighet, stabilitet och prestanda krävande genom produktionsprocessen.

Paddlarna är tillverkade av hög renhetkiselkarbid (SiC), speciellt framtagen för att motstå de tuffa termiska och kemiska miljöerna i en halvledartillverkningsprocess. När wafers behandlas genom oxidation och diffusion utsätts wafern för temperaturer över 1000 grader C, såväl som reaktiva gaser som syre, ånga eller dopningsatmosfärer. Vid dessa temperaturer kommer den strukturella integriteten att bero på materialets renhet.

En annan viktig egenskap hos SiC keramiska paddlar är deras suveräna prestanda vid höga temperaturer. På grund av SiC:s smältpunkt på 2700+C behåller paddlarna styrka och mekanisk stabilitet när de utsätts för höga temperaturer

peratures över tid. Den termiska egenskapen begränsar skevhet och sprickbildning av materialet under upprepade uppvärmnings- och kylcykler samtidigt som det ger en lång livslängd i produktionsmiljöer.

Bearbetning av halvledare kräver en ultraren miljö eftersom även spårmängder av föroreningar kan påverka utrustningens utbyte och beteende. SiC-materialet som används i paddlarna har en kemiskt ångavsatt (CVD) SiC-beläggning som främjar exceptionellt hög materialrenhet samtidigt som metallisk kontaminering minimeras. SiC keramiska paddeln förblir ren och stabil under hela livslängden. Som fribärande stöd måste paddlarna ge ett säkert stöd för waferbärare eller båtar under insättning och borttagning från ugnen. På grund avSicMed sin inneboende styrka och styvhet har de goda lastbärande egenskaper med minimal avböjning, vilket är avgörande för korrekt hantering och inriktning av wafer. I oxidations- och diffusionsugnar kan korrosiva atmosfärer attackera och försämra traditionella material över tiden, men SiC har förmågan att bibehålla sin kemiska stabilitet, vilket förlänger skovelns livslängd. Detta resulterar i dramatiskt minskade underhålls- och utbyteskostnader, eftersom paddlarna inte behöver bytas ut eller repareras lika ofta.

Med sin inneboende styrka och styvhet har de goda lastbärande egenskaper med minimal avböjning, vilket är avgörande för korrekt hantering och inriktning av wafer. I oxidations- och diffusionsugnar kan korrosiva atmosfärer attackera och försämra traditionella material över tiden, men SiC har förmågan att bibehålla sin kemiska stabilitet, vilket förlänger skovelns livslängd. Detta resulterar i dramatiskt minskade underhålls- och utbyteskostnader, eftersom paddlarna inte behöver bytas ut eller repareras lika ofta.

Sic keramikpaddlar, med sin kombination av hög renhet, termisk stabilitet, mekanisk styrka och kemisk beständighet, är väsentliga material i halvledaroxidations- och diffusionsprocesser. Genom att tillhandahålla en stabil, ren plattform för waferöverföring bidrar de direkt till förbättrat utbyte, processkonsistens och övergripande tillverkningseffektivitet.