Semicorex SiC-belagda ICP-komponent är designad speciellt för högtemperatur-waferhanteringsprocesser som epitaxi och MOCVD. Med en fin SiC-kristallbeläggning ger våra bärare överlägsen värmebeständighet, jämn termisk enhetlighet och hållbar kemisk beständighet.
Semicorex SiC-belagda ICP-komponent är det bästa valet för waferhanteringsprocesser som kräver hög temperatur och kemisk beständighet. Våra bärare ger jämna termiska profiler, laminära gasflödesmönster och förhindrar kontaminering eller diffusion av föroreningar tack vare vår fina SiC-kristall. Med en fin SiC-kristallbeläggning ger våra bärare överlägsen värmebeständighet, jämn termisk enhetlighet och hållbar kemisk beständighet.
På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativa, kostnadseffektiva produkter till våra kunder. Vår SiC-belagda ICP-komponent har en prisfördel och exporteras till många europeiska och amerikanska marknader. Vi strävar efter att vara din långsiktiga partner som levererar konsekventa kvalitetsprodukter och exceptionell kundservice.
Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår SiC-belagda ICP-komponent.
Parametrar för SiC-belagd ICP-komponent
Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning |
||
SiC-CVD-egenskaper |
||
Kristallstruktur |
FCC β-fas |
|
Densitet |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhet |
Vickers hårdhet |
2500 |
Kornstorlek |
μm |
2~10 |
Kemisk renhet |
% |
99.99995 |
Värmekapacitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Felexural styrka |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Youngs modul |
Gpa (4pt böj, 1300 ℃) |
430 |
Termisk expansion (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Värmeledningsförmåga |
(W/mK) |
300 |
Funktioner hos SiC-belagd ICP-komponent
- Undvik att skala av och säkerställ beläggning på alla ytor
Oxidationsbeständighet vid hög temperatur: Stabil vid höga temperaturer upp till 1600°C
Hög renhet: tillverkad av CVD kemisk ångavsättning under högtemperaturkloreringsförhållanden.
Korrosionsbeständighet: hög hårdhet, tät yta och fina partiklar.
Korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
- Uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret
- Garanterar jämnhet av termisk profil
- Förhindra all kontaminering eller spridning av föroreningar