SIC -belagda skivbärare

Semicorex sic-belagda skivbärare är avancerade komponenter som stöder skivor för högtemperaturprocesser i halvledarapplikationer såsom epitaxial tillväxt, diffusion och CVD. Bärarna ger strukturella fördelar från grafit med hög renhet i kombination med maximala ytfördelar genom att använda en tät och uniformSIC -beläggningför optimal termisk stabilitet, kemisk resistens och mekanisk styrka under svåra bearbetningsförhållanden.

Grafitkärna med hög renhet för optimal värmeledningsförmåga

SIC-belagda skivbärare är ett substratmaterial av ultraliktkorn, grafit med hög renhet. Det är en effektiv termisk ledare, som är både lätt och bearbetbar, den kan tillverkas till komplexa geometrier som krävs av de unika skivstorleken och processfaktorerna. Grafit erbjuder enhetlig uppvärmning vid skivytan som begränsar förekomsten av termiska gradienter och termiska bearbetningsfel.

Tät SIC -beläggning för ytskydd och processkompatibilitet

Grafitbäraren är belagd med hög renhet, CVD -kiselkarbid. SIC -beläggningen ger ogenomträngligt, porfritt skydd mot korrosion, oxidation och processgasföroreningar från arter som väte, klor och silan. Slutresultatet är ett lågt partikulärt, tufft bärare som inte försämrar eller förlorar dimensionell stabilitet, väljer att underkastas många termiska cykler och representerar en betydligt minskad potential för skivföroreningar.

Fördelar och nyckelfunktioner

Termisk motstånd: SIC -beläggningar är stabila för temperaturer som överstiger 1600 ° C, vilket är optimerat för hög temperaturepitaxi och diffusionsbehov.

Utmärkt kemisk resistent: Det tål alla frätande processgaser och rengöring av kemikalier och möjliggör längre livslängd och mindre driftstopp.

Låg partikelproduktion: SIC -ytan minimerar flingande och partikelutgjutning och håller ren processmiljön som är avgörande för enhetsutbytet.

Dimensionskontroll: exakt konstruerad för att stänga toleranser för att säkerställa enhetligt skivstöd så att det automatiskt kan hanteras med skivor.

Kostnadsminskning: Längre livscykler och lägre underhållsbehov ger lägre totala ägandekostnader (TCO) än traditionella grafit- eller nakna transportörer.

Applikationer:

SIC-belagda skivbärare används allmänt vid tillverkning av halvledare, sammansatta halvledare (såsom GaN, SIC), MEMS, lysdioder och andra anordningar som kräver hög temperaturbearbetning i aggressiva kemiska miljöer. De är särskilt väsentliga i epitaxiella reaktorer, där ytrenlighet, hållbarhet och termisk enhetlighet direkt påverkar skivkvalitet och produktionseffektivitet.

Anpassning och kvalitetskontroll

SemicorexSIC -belagdSkivbärare produceras under strikta kvalitetskontrollprotokoll. Vi har också flexibilitet med standardstorlekar och konfigurationer, och vi kan anpassa ingenjörslösningar som uppfyller kundens krav. Oavsett om du har ett 4-tums eller 12-tums skivformat kan vi optimera skivbärare för horisontella eller vertikala reaktorer, parti eller enstaka skivbehandling och specifika epitaxi-recept.