SiC-beläggning är ett tunt lager på susceptorn genom den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD). Kiselkarbidmaterial ger ett antal fördelar jämfört med kisel, inklusive 10x den elektriska fältstyrkan, 3x bandgapet, vilket ger materialet hög temperatur- och kemisk beständighet, utmärkt slitstyrka samt värmeledningsförmåga.
Semicorex tillhandahåller skräddarsydd service, hjälper dig att förnya dig med komponenter som håller längre, minskar cykeltiderna och förbättrar avkastningen.
SiC-beläggning har flera unika fördelar
Hög temperaturbeständighet: CVD SiC-belagd susceptor kan motstå höga temperaturer upp till 1600°C utan att genomgå betydande termisk nedbrytning.
Kemisk beständighet: Kiselkarbidbeläggningen ger utmärkt motståndskraft mot ett brett spektrum av kemikalier, inklusive syror, alkalier och organiska lösningsmedel.
Slitstyrka: SiC-beläggningen ger materialet utmärkt slitstyrka, vilket gör det lämpligt för applikationer som involverar högt slitage.
Värmeledningsförmåga: CVD SiC-beläggningen ger materialet hög värmeledningsförmåga, vilket gör det lämpligt för användning i högtemperaturapplikationer som kräver effektiv värmeöverföring.
Hög hållfasthet och styvhet: Den kiselkarbidbelagda susceptorn ger materialet hög styrka och styvhet, vilket gör det lämpligt för applikationer som kräver hög mekanisk hållfasthet.
SiC-beläggning används i olika applikationer
LED-tillverkning: CVD SiC-belagd susceptor används vid tillverkning av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup UV LED, på grund av dess höga värmeledningsförmåga och kemiska motstånd.
Mobil kommunikation: CVD SiC-belagd susceptor är en avgörande del av HEMT för att slutföra GaN-on-SiC-epitaxialprocessen.
Halvledarbearbetning: CVD SiC-belagd susceptor används i halvledarindustrin för olika tillämpningar, inklusive waferbearbetning och epitaxiell tillväxt.
SiC-belagda grafitkomponenter
Tillverkad av Silicon Carbide Coating (SiC) grafit, appliceras beläggningen med en CVD-metod på specifika kvaliteter av högdensitetsgrafit, så att den kan arbeta i högtemperaturugnen med över 3000 °C i en inert atmosfär, 2200 °C i vakuum .
Materialets speciella egenskaper och låga massa möjliggör snabba uppvärmningshastigheter, jämn temperaturfördelning och enastående precision vid kontroll.
Materialdata för Semicorex SiC Coating
Typiska egenskaper |
Enheter |
Värderingar |
Strukturera |
|
FCC β fas |
Orientering |
Bråkdel (%) |
111 föredras |
Bulkdensitet |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhet |
Vickers hårdhet |
2500 |
Värmekapacitet |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Termisk expansion 100â600 °C (212â1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngs modul |
Gpa (4pt böj, 1300â) |
430 |
Kornstorlek |
μm |
2~10 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Felexural styrka |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Värmeledningsförmåga |
(W/mK) |
300 |
Slutsats CVD SiC-belagd susceptor är ett kompositmaterial som kombinerar egenskaperna hos en susceptor och kiselkarbid. Detta material har unika egenskaper, inklusive hög temperatur- och kemikaliebeständighet, utmärkt slitstyrka, hög värmeledningsförmåga och hög hållfasthet och styvhet. Dessa egenskaper gör det till ett attraktivt material för olika högtemperaturapplikationer, inklusive halvledarbearbetning, kemisk bearbetning, värmebehandling, solcellstillverkning och LED-tillverkning.
När det kommer till halvledartillverkning är Semicorex High-Temperature SiC-Coated Barrel Susceptor det bästa valet för överlägsen prestanda och tillförlitlighet. Dess högkvalitativa SiC-beläggning och exceptionella värmeledningsförmåga gör den idealisk för användning även i de mest krävande högtemperatur- och korrosiva miljöer.
Läs merSkicka förfråganMed sin höga smältpunkt, oxidationsbeständighet och korrosionsbeständighet är Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor för LPE-tillväxt det perfekta valet för användning i enkristalltillväxtapplikationer. Dess kiselkarbidbeläggning ger exceptionella planhet och värmefördelningsegenskaper, vilket säkerställer pålitlig och konsekvent prestanda även i de mest krävande högtemperaturmiljöer.
Läs merSkicka förfråganOm du letar efter en högkvalitativ grafitsusceptor belagd med högrent SiC, är Semicorex LPE Barrel Susceptor med SiC-beläggning det perfekta valet. Dess exceptionella värmeledningsförmåga och värmefördelningsegenskaper gör den idealisk för användning i halvledartillverkning.
Läs merSkicka förfråganMed sin överlägsna densitet och värmeledningsförmåga är Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor för epitaxiell tillväxt det idealiska valet för användning i högtemperaturer och korrosiva miljöer. Belagd med högrent SiC, ger denna grafitprodukt utmärkt skydd och värmefördelning, vilket säkerställer tillförlitlig och konsekvent prestanda i halvledartillverkningstillämpningar.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Coated Barrel Susceptor för LPE är det perfekta valet för enkristalltillväxtapplikationer, tack vare sin exceptionellt plana yta och högkvalitativa SiC-beläggning. Dess höga smältpunkt, oxidationsbeständighet och korrosionsbeständighet gör den till ett idealiskt val för användning i hög temperatur och korrosiva miljöer.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel är en grafitprodukt av högsta kvalitet belagd med högrent SiC. Dess utmärkta densitet och värmeledningsförmåga gör den till ett idealiskt val för användning i LPE-processer, vilket ger exceptionell värmefördelning och skydd i korrosiva och höga temperaturer.
Läs merSkicka förfrågan