Hem > Produkter > Silikonkarbidbelagd

Kina Silikonkarbidbelagd Tillverkare, leverantörer, fabrik

SiC-beläggning är ett tunt lager på susceptorn genom den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD). Kiselkarbidmaterial ger ett antal fördelar jämfört med kisel, inklusive 10x den elektriska fältstyrkan, 3x bandgapet, vilket ger materialet hög temperatur- och kemikaliebeständighet, utmärkt slitstyrka samt värmeledningsförmåga.

Semicorex tillhandahåller skräddarsydd service, hjälper dig att förnya dig med komponenter som håller längre, minskar cykeltiderna och förbättrar avkastningen.


SiC-beläggning har flera unika fördelar

Hög temperaturbeständighet: CVD SiC-belagd susceptor kan motstå höga temperaturer upp till 1600°C utan att genomgå betydande termisk nedbrytning.

Kemisk beständighet: Kiselkarbidbeläggningen ger utmärkt motståndskraft mot ett brett spektrum av kemikalier, inklusive syror, alkalier och organiska lösningsmedel.

Slitstyrka: SiC-beläggningen ger materialet utmärkt slitstyrka, vilket gör det lämpligt för applikationer som involverar högt slitage.

Värmeledningsförmåga: CVD SiC-beläggningen ger materialet hög värmeledningsförmåga, vilket gör det lämpligt för användning i högtemperaturapplikationer som kräver effektiv värmeöverföring.

Hög hållfasthet och styvhet: Den kiselkarbidbelagda susceptorn ger materialet hög styrka och styvhet, vilket gör det lämpligt för applikationer som kräver hög mekanisk hållfasthet.


SiC-beläggning används i olika applikationer

LED-tillverkning: CVD SiC-belagd susceptor används vid tillverkning av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup-UV LED, på grund av dess höga värmeledningsförmåga och kemiska motstånd.



Mobil kommunikation: CVD SiC-belagd susceptor är en avgörande del av HEMT för att slutföra den epitaxiella GaN-on-SiC-processen.



Halvledarbearbetning: CVD SiC-belagd susceptor används i halvledarindustrin för olika applikationer, inklusive waferbearbetning och epitaxiell tillväxt.





SiC-belagda grafitkomponenter

Tillverkad av Silicon Carbide Coating (SiC) grafit, appliceras beläggningen med en CVD-metod på specifika kvaliteter av högdensitetsgrafit, så att den kan arbeta i högtemperaturugnen med över 3000 °C i en inert atmosfär, 2200 °C i vakuum .

Materialets speciella egenskaper och låga massa möjliggör snabba uppvärmningshastigheter, jämn temperaturfördelning och enastående precision vid kontroll.


Materialdata för Semicorex SiC Coating

Typiska egenskaper

Enheter

Värderingar

Strukturera


FCC β-fas

Orientering

Bråkdel (%)

111 föredras

Bulkdensitet

g/cm³

3.21

Hårdhet

Vickers hårdhet

2500

Värmekapacitet

J kg-1 K-1

640

Termisk expansion 100–600 °C (212–1112 °F)

10-6K-1

4.5

Youngs modul

Gpa (4pt böj, 1300 ℃)

430

Kornstorlek

μm

2~10

Sublimeringstemperatur

2700

Felexural styrka

MPa (RT 4-punkts)

415

Värmeledningsförmåga

(W/mK)

300


Slutsats CVD SiC-belagd susceptor är ett kompositmaterial som kombinerar egenskaperna hos en susceptor och kiselkarbid. Detta material har unika egenskaper, inklusive hög temperatur- och kemikaliebeständighet, utmärkt slitstyrka, hög värmeledningsförmåga och hög hållfasthet och styvhet. Dessa egenskaper gör det till ett attraktivt material för olika högtemperaturapplikationer, inklusive halvledarbearbetning, kemisk bearbetning, värmebehandling, solcellstillverkning och LED-tillverkning.






View as  
 
RTP-bärare för epitaxiell MOCVD-tillväxt

RTP-bärare för epitaxiell MOCVD-tillväxt

Semicorex RTP-bärare för MOCVD Epitaxial Growth är idealisk för applikationer för bearbetning av halvledarskivor, inklusive epitaxiell tillväxt och bearbetning av waferhantering. Kolgrafitsusceptorer och kvartsdeglar bearbetas av MOCVD på ytan av grafit, keramik etc. Våra produkter har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Läs merSkicka förfrågan
SiC-belagd ICP-komponent

SiC-belagd ICP-komponent

Semicorex SiC-belagda ICP-komponent är designad speciellt för högtemperatur-waferhanteringsprocesser som epitaxi och MOCVD. Med en fin SiC-kristallbeläggning ger våra bärare överlägsen värmebeständighet, jämn termisk enhetlighet och hållbar kemisk beständighet.

Läs merSkicka förfrågan
Högtemperatur SiC-beläggning för plasmaetsningskammare

Högtemperatur SiC-beläggning för plasmaetsningskammare

När det kommer till waferhanteringsprocesser som epitaxi och MOCVD är Semicorex High-Temperature SiC Coating för Plasma Etch Chambers det bästa valet. Våra bärare ger överlägsen värmebeständighet, jämn termisk enhetlighet och hållbar kemisk beständighet tack vare vår fina SiC-kristallbeläggning.

Läs merSkicka förfrågan
ICP Plasma Etsningsbricka

ICP Plasma Etsningsbricka

Semicorex ICP Plasma Etching Tray är konstruerad specifikt för högtemperaturwaferhanteringsprocesser som epitaxi och MOCVD. Med en stabil oxidationsbeständighet vid hög temperatur på upp till 1600°C ger våra bärare jämna termiska profiler, laminära gasflödesmönster och förhindrar kontaminering eller diffusion av föroreningar.

Läs merSkicka förfrågan
ICP plasmaetsningssystem

ICP plasmaetsningssystem

Semicorex SiC-belagda bärare för ICP Plasma Etching System är en pålitlig och kostnadseffektiv lösning för högtemperatur-waferhanteringsprocesser som epitaxi och MOCVD. Våra bärare har en fin SiC-kristallbeläggning som ger överlägsen värmebeständighet, jämn termisk enhetlighet och hållbar kemisk beständighet.

Läs merSkicka förfrågan
Induktivt kopplat plasma (ICP)

Induktivt kopplat plasma (ICP)

Semicorex kiselkarbidbelagda susceptor för induktivt kopplad plasma (ICP) är designad speciellt för högtemperatur-waferhanteringsprocesser som epitaxi och MOCVD. Med en stabil oxidationsbeständighet vid hög temperatur på upp till 1600°C säkerställer våra bärare jämna termiska profiler, laminära gasflödesmönster och förhindrar kontaminering eller diffusion av föroreningar.

Läs merSkicka förfrågan
Semicorex har producerat Silikonkarbidbelagd i många år och är en av de professionella Silikonkarbidbelagd tillverkarna och leverantörerna i Kina. När du väl köpt våra avancerade och hållbara produkter som levererar bulkpackning garanterar vi den stora kvantiteten i snabb leverans. Genom åren har vi försett kunderna med kundanpassad service. Kunderna är nöjda med våra produkter och utmärkt service. Vi ser verkligen fram emot att bli din pålitliga långsiktiga affärspartner! Välkommen att köpa produkter från vår fabrik.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept