Hem > Produkter > Silikonkarbidbelagd

Kina Silikonkarbidbelagd Tillverkare, leverantörer, fabrik

SiC-beläggning är ett tunt lager på susceptorn genom den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD). Kiselkarbidmaterial ger ett antal fördelar jämfört med kisel, inklusive 10x den elektriska fältstyrkan, 3x bandgapet, vilket ger materialet hög temperatur- och kemikaliebeständighet, utmärkt slitstyrka samt värmeledningsförmåga.

Semicorex tillhandahåller skräddarsydd service, hjälper dig att förnya dig med komponenter som håller längre, minskar cykeltiderna och förbättrar avkastningen.


SiC-beläggning har flera unika fördelar

Hög temperaturbeständighet: CVD SiC-belagd susceptor kan motstå höga temperaturer upp till 1600°C utan att genomgå betydande termisk nedbrytning.

Kemisk beständighet: Kiselkarbidbeläggningen ger utmärkt motståndskraft mot ett brett spektrum av kemikalier, inklusive syror, alkalier och organiska lösningsmedel.

Slitstyrka: SiC-beläggningen ger materialet utmärkt slitstyrka, vilket gör det lämpligt för applikationer som involverar högt slitage.

Värmeledningsförmåga: CVD SiC-beläggningen ger materialet hög värmeledningsförmåga, vilket gör det lämpligt för användning i högtemperaturapplikationer som kräver effektiv värmeöverföring.

Hög hållfasthet och styvhet: Den kiselkarbidbelagda susceptorn ger materialet hög styrka och styvhet, vilket gör det lämpligt för applikationer som kräver hög mekanisk hållfasthet.


SiC-beläggning används i olika applikationer

LED-tillverkning: CVD SiC-belagd susceptor används vid tillverkning av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup-UV LED, på grund av dess höga värmeledningsförmåga och kemiska motstånd.



Mobil kommunikation: CVD SiC-belagd susceptor är en avgörande del av HEMT för att slutföra den epitaxiella GaN-on-SiC-processen.



Halvledarbearbetning: CVD SiC-belagd susceptor används i halvledarindustrin för olika applikationer, inklusive waferbearbetning och epitaxiell tillväxt.





SiC-belagda grafitkomponenter

Tillverkad av Silicon Carbide Coating (SiC) grafit, appliceras beläggningen med en CVD-metod på specifika kvaliteter av högdensitetsgrafit, så att den kan arbeta i högtemperaturugnen med över 3000 °C i en inert atmosfär, 2200 °C i vakuum .

Materialets speciella egenskaper och låga massa möjliggör snabba uppvärmningshastigheter, jämn temperaturfördelning och enastående precision vid kontroll.


Materialdata för Semicorex SiC Coating

Typiska egenskaper

Enheter

Värderingar

Strukturera


FCC β-fas

Orientering

Bråkdel (%)

111 föredras

Bulkdensitet

g/cm³

3.21

Hårdhet

Vickers hårdhet

2500

Värmekapacitet

J kg-1 K-1

640

Termisk expansion 100–600 °C (212–1112 °F)

10-6K-1

4.5

Youngs modul

Gpa (4pt böj, 1300 ℃)

430

Kornstorlek

μm

2~10

Sublimeringstemperatur

2700

Felexural styrka

MPa (RT 4-punkts)

415

Värmeledningsförmåga

(W/mK)

300


Slutsats CVD SiC-belagd susceptor är ett kompositmaterial som kombinerar egenskaperna hos en susceptor och kiselkarbid. Detta material har unika egenskaper, inklusive hög temperatur- och kemikaliebeständighet, utmärkt slitstyrka, hög värmeledningsförmåga och hög hållfasthet och styvhet. Dessa egenskaper gör det till ett attraktivt material för olika högtemperaturapplikationer, inklusive halvledarbearbetning, kemisk bearbetning, värmebehandling, solcellstillverkning och LED-tillverkning.






View as  
 
ICP Etching Wafer Hållare

ICP Etching Wafer Hållare

Semicorex's ICP-etsningswaferhållare är den perfekta lösningen för högtemperaturwaferhanteringsprocesser som epitaxi och MOCVD. Med en stabil oxidationsbeständighet vid hög temperatur på upp till 1600°C säkerställer våra bärare jämna termiska profiler, laminära gasflödesmönster och förhindrar kontaminering eller diffusion av föroreningar.

Läs merSkicka förfrågan
ICP Etsningsbärarplatta

ICP Etsningsbärarplatta

Semicorex ICP Etching Carrier Plate är den perfekta lösningen för krävande waferhantering och tunnfilmsavsättningsprocesser. Vår produkt ger överlägsen värme- och korrosionsbeständighet, jämn termisk enhetlighet och laminära gasflödesmönster. Med en ren och slät yta är vår bärare perfekt för att hantera orörda wafers.

Läs merSkicka förfrågan
Waferhållare för ICP Etsning Process

Waferhållare för ICP Etsning Process

Semicorex waferhållare för ICP Etching Process är det perfekta valet för krävande waferhantering och tunnfilmsavsättningsprocesser. Vår produkt har överlägsen värme- och korrosionsbeständighet, jämn termisk enhetlighet och optimala laminära gasflödesmönster för konsekventa och pålitliga resultat.

Läs merSkicka förfrågan
ICP Silicon Carbon Coated Grafit

ICP Silicon Carbon Coated Grafit

Semicorex ICP Silicon Carbon Coated Graphite är det idealiska valet för krävande waferhantering och tunnfilmsavsättningsprocesser. Vår produkt har överlägsen värme- och korrosionsbeständighet, jämn termisk enhetlighet och optimala laminära gasflödesmönster.

Läs merSkicka förfrågan
ICP Plasma Etching System för PSS Process

ICP Plasma Etching System för PSS Process

Välj Semicorex ICP Plasma Etching System för PSS Process för högkvalitativa epitaxi- och MOCVD-processer. Vår produkt är konstruerad speciellt för dessa processer och erbjuder överlägsen värme- och korrosionsbeständighet. Med en ren och slät yta är vår bärare perfekt för att hantera orörda wafers.

Läs merSkicka förfrågan
ICP Plasma Etsningsplatta

ICP Plasma Etsningsplatta

Semicorex ICP Plasma Etching Plate ger överlägsen värme- och korrosionsbeständighet för waferhantering och tunnfilmsavsättningsprocesser. Vår produkt är konstruerad för att tåla höga temperaturer och hård kemisk rengöring, vilket säkerställer hållbarhet och livslängd. Med en ren och slät yta är vår bärare perfekt för att hantera orörda wafers.

Läs merSkicka förfrågan
Semicorex har producerat Silikonkarbidbelagd i många år och är en av de professionella Silikonkarbidbelagd tillverkarna och leverantörerna i Kina. När du väl köpt våra avancerade och hållbara produkter som levererar bulkpackning garanterar vi den stora kvantiteten i snabb leverans. Genom åren har vi försett kunderna med kundanpassad service. Kunderna är nöjda med våra produkter och utmärkt service. Vi ser verkligen fram emot att bli din pålitliga långsiktiga affärspartner! Välkommen att köpa produkter från vår fabrik.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept