SiC-beläggning är ett tunt lager på susceptorn genom den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD). Kiselkarbidmaterial ger ett antal fördelar jämfört med kisel, inklusive 10x den elektriska fältstyrkan, 3x bandgapet, vilket ger materialet hög temperatur- och kemikaliebeständighet, utmärkt slitstyrka samt värmeledningsförmåga.
Semicorex tillhandahåller skräddarsydd service, hjälper dig att förnya dig med komponenter som håller längre, minskar cykeltiderna och förbättrar avkastningen.
SiC-beläggning har flera unika fördelar
Hög temperaturbeständighet: CVD SiC-belagd susceptor kan motstå höga temperaturer upp till 1600°C utan att genomgå betydande termisk nedbrytning.
Kemisk beständighet: Kiselkarbidbeläggningen ger utmärkt motståndskraft mot ett brett spektrum av kemikalier, inklusive syror, alkalier och organiska lösningsmedel.
Slitstyrka: SiC-beläggningen ger materialet utmärkt slitstyrka, vilket gör det lämpligt för applikationer som involverar högt slitage.
Värmeledningsförmåga: CVD SiC-beläggningen ger materialet hög värmeledningsförmåga, vilket gör det lämpligt för användning i högtemperaturapplikationer som kräver effektiv värmeöverföring.
Hög hållfasthet och styvhet: Den kiselkarbidbelagda susceptorn ger materialet hög styrka och styvhet, vilket gör det lämpligt för applikationer som kräver hög mekanisk hållfasthet.
SiC-beläggning används i olika applikationer
LED-tillverkning: CVD SiC-belagd susceptor används vid tillverkning av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup-UV LED, på grund av dess höga värmeledningsförmåga och kemiska motstånd.
Mobil kommunikation: CVD SiC-belagd susceptor är en avgörande del av HEMT för att slutföra den epitaxiella GaN-on-SiC-processen.
Halvledarbearbetning: CVD SiC-belagd susceptor används i halvledarindustrin för olika applikationer, inklusive waferbearbetning och epitaxiell tillväxt.
SiC-belagda grafitkomponenter
Tillverkad av Silicon Carbide Coating (SiC) grafit, appliceras beläggningen med en CVD-metod på specifika kvaliteter av högdensitetsgrafit, så att den kan arbeta i högtemperaturugnen med över 3000 °C i en inert atmosfär, 2200 °C i vakuum .
Materialets speciella egenskaper och låga massa möjliggör snabba uppvärmningshastigheter, jämn temperaturfördelning och enastående precision vid kontroll.
Materialdata för Semicorex SiC Coating
Typiska egenskaper |
Enheter |
Värderingar |
Strukturera |
|
FCC β-fas |
Orientering |
Bråkdel (%) |
111 föredras |
Bulkdensitet |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhet |
Vickers hårdhet |
2500 |
Värmekapacitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Termisk expansion 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngs modul |
Gpa (4pt böj, 1300 ℃) |
430 |
Kornstorlek |
μm |
2~10 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Felexural styrka |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Värmeledningsförmåga |
(W/mK) |
300 |
Slutsats CVD SiC-belagd susceptor är ett kompositmaterial som kombinerar egenskaperna hos en susceptor och kiselkarbid. Detta material har unika egenskaper, inklusive hög temperatur- och kemikaliebeständighet, utmärkt slitstyrka, hög värmeledningsförmåga och hög hållfasthet och styvhet. Dessa egenskaper gör det till ett attraktivt material för olika högtemperaturapplikationer, inklusive halvledarbearbetning, kemisk bearbetning, värmebehandling, solcellstillverkning och LED-tillverkning.
Semicorex är en pålitlig leverantör och tillverkare av kiselkarbidbeläggningsgrafitsusceptor för MOCVD. Vår produkt är speciellt utformad för att tillgodose behoven hos halvledarindustrin när det gäller att odla det epitaxiella lagret på waferchipset. Produkten används som mittplatta i MOCVD, med kugghjul eller ringformad design. Den har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket gör den idealisk för användning i extrema miljöer.
Läs merSkicka förfråganSemicorex är en ansedd leverantör och tillverkare av SiC Coated MOCVD Graphite Satellite Platform. Vår produkt är speciellt utformad för att tillgodose behoven hos halvledarindustrin när det gäller att odla det epitaxiella lagret på waferchipset. Produkten används som mittplatta i MOCVD, med kugghjul eller ringformad design. Den har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket gör den idealisk för användning i extrema miljöer.
Läs merSkicka förfråganSemicorex är en känd tillverkare och leverantör av högkvalitativ MOCVD Cover Star Disc Plate för Wafer Epitaxy. Vår produkt är speciellt utformad för att tillgodose behoven hos halvledarindustrin, särskilt när det gäller att odla det epitaxiella lagret på waferchipset. Vår susceptor används som mittplatta i MOCVD, med en kugg- eller ringformad design. Produkten är mycket motståndskraftig mot hög värme och korrosion, vilket gör den idealisk för användning i extrema miljöer.
Läs merSkicka förfråganSemicorex är en ledande leverantör och tillverkare av MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth. Vår produkt används i stor utsträckning i halvledarindustrier, särskilt vid tillväxten av det epitaxiella lagret på waferchipset. Vår susceptor är designad för att användas som mittplatta i MOCVD, med en kugghjuls- eller ringformad design. Produkten har hög värme- och korrosionsbeständighet, vilket gör den stabil i extrema miljöer.
Läs merSkicka förfråganSemicorex är en ledande tillverkare och leverantör av SiC Coated MOCVD Susceptor. Vår produkt är speciellt designad för halvledarindustrier för att växa det epitaxiella lagret på waferchipset. Den högrena kiselkarbidbelagda grafitbäraren används som mittplatta i MOCVD, med en kugg- eller ringformad design. Vår susceptor används ofta i MOCVD-utrustning, vilket säkerställer hög värme- och korrosionsbeständighet och stor stabilitet i extrema miljöer.
Läs merSkicka förfråganSemicorex är en storskalig tillverkare och leverantör av kiselkarbidbelagd grafitsusceptor i Kina. Vi fokuserar på halvledarindustrier som kiselkarbidskikt och epitaxihalvledare. Vår SiC Coated Graphite Susceptor för MOCVD har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner.
Läs merSkicka förfrågan