SiC-beläggning är ett tunt lager på susceptorn genom den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD). Kiselkarbidmaterial ger ett antal fördelar jämfört med kisel, inklusive 10x den elektriska fältstyrkan, 3x bandgapet, vilket ger materialet hög temperatur- och kemikaliebeständighet, utmärkt slitstyrka samt värmeledningsförmåga.
Semicorex tillhandahåller skräddarsydd service, hjälper dig att förnya dig med komponenter som håller längre, minskar cykeltiderna och förbättrar avkastningen.
SiC-beläggning har flera unika fördelar
Hög temperaturbeständighet: CVD SiC-belagd susceptor kan motstå höga temperaturer upp till 1600°C utan att genomgå betydande termisk nedbrytning.
Kemisk beständighet: Kiselkarbidbeläggningen ger utmärkt motståndskraft mot ett brett spektrum av kemikalier, inklusive syror, alkalier och organiska lösningsmedel.
Slitstyrka: SiC-beläggningen ger materialet utmärkt slitstyrka, vilket gör det lämpligt för applikationer som involverar högt slitage.
Värmeledningsförmåga: CVD SiC-beläggningen ger materialet hög värmeledningsförmåga, vilket gör det lämpligt för användning i högtemperaturapplikationer som kräver effektiv värmeöverföring.
Hög hållfasthet och styvhet: Den kiselkarbidbelagda susceptorn ger materialet hög styrka och styvhet, vilket gör det lämpligt för applikationer som kräver hög mekanisk hållfasthet.
SiC-beläggning används i olika applikationer
LED-tillverkning: CVD SiC-belagd susceptor används vid tillverkning av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup-UV LED, på grund av dess höga värmeledningsförmåga och kemiska motstånd.
Mobil kommunikation: CVD SiC-belagd susceptor är en avgörande del av HEMT för att slutföra den epitaxiella GaN-on-SiC-processen.
Halvledarbearbetning: CVD SiC-belagd susceptor används i halvledarindustrin för olika applikationer, inklusive waferbearbetning och epitaxiell tillväxt.
SiC-belagda grafitkomponenter
Tillverkad av Silicon Carbide Coating (SiC) grafit, appliceras beläggningen med en CVD-metod på specifika kvaliteter av högdensitetsgrafit, så att den kan arbeta i högtemperaturugnen med över 3000 °C i en inert atmosfär, 2200 °C i vakuum .
Materialets speciella egenskaper och låga massa möjliggör snabba uppvärmningshastigheter, jämn temperaturfördelning och enastående precision vid kontroll.
Materialdata för Semicorex SiC Coating
Typiska egenskaper |
Enheter |
Värderingar |
Strukturera |
|
FCC β-fas |
Orientering |
Bråkdel (%) |
111 föredras |
Bulkdensitet |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhet |
Vickers hårdhet |
2500 |
Värmekapacitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Termisk expansion 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngs modul |
Gpa (4pt böj, 1300 ℃) |
430 |
Kornstorlek |
μm |
2~10 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Felexural styrka |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Värmeledningsförmåga |
(W/mK) |
300 |
Slutsats CVD SiC-belagd susceptor är ett kompositmaterial som kombinerar egenskaperna hos en susceptor och kiselkarbid. Detta material har unika egenskaper, inklusive hög temperatur- och kemikaliebeständighet, utmärkt slitstyrka, hög värmeledningsförmåga och hög hållfasthet och styvhet. Dessa egenskaper gör det till ett attraktivt material för olika högtemperaturapplikationer, inklusive halvledarbearbetning, kemisk bearbetning, värmebehandling, solcellstillverkning och LED-tillverkning.
Semicorex's MOCVD-susceptorer representerar toppen av hantverk, uthållighet och tillförlitlighet för intrikat grafitepitaxi och exakta waferhanteringsuppgifter. Dessa susceptorer är kända för sin höga densitet, exceptionella planhet och överlägsna termiska kontroll, vilket gör dem till det främsta valet för krävande tillverkningsmiljöer. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande MOCVD-susceptorer som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.
Läs merSkicka förfråganSemicorex-plattan för epitaxiell tillväxt står som ett kritiskt element speciellt utformat för att tillgodose krångligheterna med epitaxiella processer. Vårt erbjudande kan anpassas för att möta distinkta specifikationer och preferenser och levererar en individuellt skräddarsydd lösning som sömlöst passar dina unika operativa behov. Vi erbjuder en rad anpassningsalternativ, från storleksändringar till variationer i beläggningsapplikationen, vilket utrustar oss för att konstruera och leverera en produkt som kan förbättra prestandan i olika applikationsscenarier. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande plattor för epitaxiell tillväxt som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Wafer Carrier för MOCVD, skapad för de exakta behoven av Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD), framstår som ett oumbärligt verktyg vid bearbetning av enkristall Si eller SiC för integrerade kretsar i hög skala. Wafer Carrier för MOCVD-kompositionen har oöverträffad renhet, motståndskraft mot förhöjda temperaturer och korrosiva miljöer och överlägsna tätningsegenskaper för att bibehålla en orörd atmosfär. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande waferbärare för MOCVD som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.
Läs merSkicka förfråganSiC Boat Holder från Semicorex är innovativt smidd av SiC, uttryckligen skräddarsydd för centrala roller inom solcells-, elektronik- och halvledarsektorerna. Semicorex SiC Boat Holder är konstruerad med precision och erbjuder en skyddande, stabil miljö för wafers genom varje steg – oavsett om det är bearbetning, transport eller lagring. Dess noggranna design säkerställer precision i dimensioner och jämnhet, avgörande för att minimera waferdeformation och maximera operativt utbyte.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Guide Ring är konstruerad för att optimera enkristalltillväxtprocessen. Dess exceptionella värmeledningsförmåga säkerställer enhetlig värmefördelning, vilket bidrar till bildandet av högkvalitativa kristaller med förbättrad renhet och strukturell integritet. Semicorex engagemang för marknadsledande kvalitet, kombinerat med konkurrenskraftiga skattemässiga överväganden, cementerar vår iver att etablera partnerskap för att uppfylla dina krav på transport av halvledarskivor.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Epi-SiC Susceptor, en komponent konstruerad med noggrann uppmärksamhet på detaljer, är oumbärlig för banbrytande halvledartillverkning, särskilt i epitaxiella applikationer. Epi-SiC Susceptors design, som förkroppsligar precision och innovation, stödjer epitaxiell avsättning av halvledarmaterial på wafers, vilket säkerställer exceptionell effektivitet och pålitlighet i prestanda. Semicorex engagemang för marknadsledande kvalitet, kombinerat med konkurrenskraftiga skattemässiga överväganden, cementerar vår iver att etablera partnerskap för att uppfylla dina krav på transport av halvledarskivor.
Läs merSkicka förfrågan