SiC-beläggning är ett tunt lager på susceptorn genom den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD). Kiselkarbidmaterial ger ett antal fördelar jämfört med kisel, inklusive 10x den elektriska fältstyrkan, 3x bandgapet, vilket ger materialet hög temperatur- och kemikaliebeständighet, utmärkt slitstyrka samt värmeledningsförmåga.
Semicorex tillhandahåller skräddarsydd service, hjälper dig att förnya dig med komponenter som håller längre, minskar cykeltiderna och förbättrar avkastningen.
SiC-beläggning har flera unika fördelar
Hög temperaturbeständighet: CVD SiC-belagd susceptor kan motstå höga temperaturer upp till 1600°C utan att genomgå betydande termisk nedbrytning.
Kemisk beständighet: Kiselkarbidbeläggningen ger utmärkt motståndskraft mot ett brett spektrum av kemikalier, inklusive syror, alkalier och organiska lösningsmedel.
Slitstyrka: SiC-beläggningen ger materialet utmärkt slitstyrka, vilket gör det lämpligt för applikationer som involverar högt slitage.
Värmeledningsförmåga: CVD SiC-beläggningen ger materialet hög värmeledningsförmåga, vilket gör det lämpligt för användning i högtemperaturapplikationer som kräver effektiv värmeöverföring.
Hög hållfasthet och styvhet: Den kiselkarbidbelagda susceptorn ger materialet hög styrka och styvhet, vilket gör det lämpligt för applikationer som kräver hög mekanisk hållfasthet.
SiC-beläggning används i olika applikationer
LED-tillverkning: CVD SiC-belagd susceptor används vid tillverkning av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup-UV LED, på grund av dess höga värmeledningsförmåga och kemiska motstånd.
Mobil kommunikation: CVD SiC-belagd susceptor är en avgörande del av HEMT för att slutföra den epitaxiella GaN-on-SiC-processen.
Halvledarbearbetning: CVD SiC-belagd susceptor används i halvledarindustrin för olika applikationer, inklusive waferbearbetning och epitaxiell tillväxt.
SiC-belagda grafitkomponenter
Tillverkad av Silicon Carbide Coating (SiC) grafit, appliceras beläggningen med en CVD-metod på specifika kvaliteter av högdensitetsgrafit, så att den kan arbeta i högtemperaturugnen med över 3000 °C i en inert atmosfär, 2200 °C i vakuum .
Materialets speciella egenskaper och låga massa möjliggör snabba uppvärmningshastigheter, jämn temperaturfördelning och enastående precision vid kontroll.
Materialdata för Semicorex SiC Coating
Typiska egenskaper |
Enheter |
Värderingar |
Strukturera |
|
FCC β-fas |
Orientering |
Bråkdel (%) |
111 föredras |
Bulkdensitet |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhet |
Vickers hårdhet |
2500 |
Värmekapacitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Termisk expansion 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngs modul |
Gpa (4pt böj, 1300 ℃) |
430 |
Kornstorlek |
μm |
2~10 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Felexural styrka |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Värmeledningsförmåga |
(W/mK) |
300 |
Slutsats CVD SiC-belagd susceptor är ett kompositmaterial som kombinerar egenskaperna hos en susceptor och kiselkarbid. Detta material har unika egenskaper, inklusive hög temperatur- och kemikaliebeständighet, utmärkt slitstyrka, hög värmeledningsförmåga och hög hållfasthet och styvhet. Dessa egenskaper gör det till ett attraktivt material för olika högtemperaturapplikationer, inklusive halvledarbearbetning, kemisk bearbetning, värmebehandling, solcellstillverkning och LED-tillverkning.
Semicorex SiC ICP Etching Disk är inte bara komponenter; det är en viktig möjliggörare för banbrytande halvledartillverkning eftersom halvledarindustrin fortsätter sin obevekliga strävan efter miniatyrisering och prestanda, kommer efterfrågan på avancerade material som SiC bara att intensifieras. Det säkerställer den precision, tillförlitlighet och prestanda som krävs för att driva vår teknikdrivna värld. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande SiC ICP Etching Disk som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Läs merSkicka förfråganDet finns omfattande egenskaper hos Semicorex SiC Coated Epitaxy Disc som gör den till en oumbärlig komponent i halvledartillverkning, där utrustningens precision, hållbarhet och robusthet är avgörande för framgången för högteknologiska halvledarenheter. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande SiC-belagda epitaxiskivor som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Susceptor för ICP Etch är tillverkad med fokus på att upprätthålla höga krav på kvalitet och konsistens. De robusta tillverkningsprocesserna som används för att skapa dessa susceptorer säkerställer att varje batch uppfyller stränga prestandakriterier, vilket ger tillförlitliga och konsekventa resultat vid halvledaretsning. Dessutom är Semicorex utrustat för att erbjuda snabba leveransscheman, vilket är avgörande för att hålla jämna steg med halvledarindustrins snabba vändningskrav, vilket säkerställer att produktionstidslinjerna uppfylls utan att kompromissa med kvaliteten. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande SiC-susceptor för ICP Etch som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.**
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC-belagd stödring är en viktig komponent som används i den epitaxiella halvledartillväxtprocessen. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Coated Ring är en avgörande komponent i halvledarepitaxialtillväxtprocessen, designad för att möta de krävande kraven för modern halvledartillverkning. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganTillförlitligheten och enastående prestanda hos Semicorex SiC Boat for Solar Cell Diffusion härrör från deras förmåga att konsekvent leverera under de krävande förhållandena för solcellsproduktion. De högkvalitativa materialegenskaperna hos SiC säkerställer att dessa båtar presterar optimalt över ett brett spektrum av driftsförhållanden, vilket bidrar till en stabil och effektiv produktion av solceller. Deras prestandaegenskaper inkluderar utmärkt mekanisk styrka, termisk stabilitet och motståndskraft mot miljöpåfrestningar, vilket gör SiC Boat for Solar Cell Diffusion till ett oumbärligt verktyg inom solcellsindustrin.
Läs merSkicka förfrågan