SiC-beläggning är ett tunt lager på susceptorn genom den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD). Kiselkarbidmaterial ger ett antal fördelar jämfört med kisel, inklusive 10x den elektriska fältstyrkan, 3x bandgapet, vilket ger materialet hög temperatur- och kemikaliebeständighet, utmärkt slitstyrka samt värmeledningsförmåga.
Semicorex tillhandahåller skräddarsydd service, hjälper dig att förnya dig med komponenter som håller längre, minskar cykeltiderna och förbättrar avkastningen.
SiC-beläggning har flera unika fördelar
Hög temperaturbeständighet: CVD SiC-belagd susceptor kan motstå höga temperaturer upp till 1600°C utan att genomgå betydande termisk nedbrytning.
Kemisk beständighet: Kiselkarbidbeläggningen ger utmärkt motståndskraft mot ett brett spektrum av kemikalier, inklusive syror, alkalier och organiska lösningsmedel.
Slitstyrka: SiC-beläggningen ger materialet utmärkt slitstyrka, vilket gör det lämpligt för applikationer som involverar högt slitage.
Värmeledningsförmåga: CVD SiC-beläggningen ger materialet hög värmeledningsförmåga, vilket gör det lämpligt för användning i högtemperaturapplikationer som kräver effektiv värmeöverföring.
Hög hållfasthet och styvhet: Den kiselkarbidbelagda susceptorn ger materialet hög styrka och styvhet, vilket gör det lämpligt för applikationer som kräver hög mekanisk hållfasthet.
SiC-beläggning används i olika applikationer
LED-tillverkning: CVD SiC-belagd susceptor används vid tillverkning av olika LED-typer, inklusive blå och grön LED, UV LED och djup-UV LED, på grund av dess höga värmeledningsförmåga och kemiska motstånd.
Mobil kommunikation: CVD SiC-belagd susceptor är en avgörande del av HEMT för att slutföra den epitaxiella GaN-on-SiC-processen.
Halvledarbearbetning: CVD SiC-belagd susceptor används i halvledarindustrin för olika applikationer, inklusive waferbearbetning och epitaxiell tillväxt.
SiC-belagda grafitkomponenter
Tillverkad av Silicon Carbide Coating (SiC) grafit, appliceras beläggningen med en CVD-metod på specifika kvaliteter av högdensitetsgrafit, så att den kan arbeta i högtemperaturugnen med över 3000 °C i en inert atmosfär, 2200 °C i vakuum .
Materialets speciella egenskaper och låga massa möjliggör snabba uppvärmningshastigheter, jämn temperaturfördelning och enastående precision vid kontroll.
Materialdata för Semicorex SiC Coating
Typiska egenskaper |
Enheter |
Värderingar |
Strukturera |
|
FCC β-fas |
Orientering |
Bråkdel (%) |
111 föredras |
Bulkdensitet |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhet |
Vickers hårdhet |
2500 |
Värmekapacitet |
J kg-1 K-1 |
640 |
Termisk expansion 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngs modul |
Gpa (4pt böj, 1300 ℃) |
430 |
Kornstorlek |
μm |
2~10 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Felexural styrka |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Värmeledningsförmåga |
(W/mK) |
300 |
Slutsats CVD SiC-belagd susceptor är ett kompositmaterial som kombinerar egenskaperna hos en susceptor och kiselkarbid. Detta material har unika egenskaper, inklusive hög temperatur- och kemikaliebeständighet, utmärkt slitstyrka, hög värmeledningsförmåga och hög hållfasthet och styvhet. Dessa egenskaper gör det till ett attraktivt material för olika högtemperaturapplikationer, inklusive halvledarbearbetning, kemisk bearbetning, värmebehandling, solcellstillverkning och LED-tillverkning.
Semicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck är en precisionskonstruerad substrathållare designad speciellt för hantering och bearbetning av galliumnitrid på epitaxiella kiselskivor. Semicorex har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser, vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Wafer Susceptors för MOCVD är ett mönster av precision och innovation, speciellt framtagna för att underlätta epitaxiell avsättning av halvledarmaterial på wafers. Plattornas överlägsna materialegenskaper gör att de kan motstå de stränga villkoren för epitaxiell tillväxt, inklusive höga temperaturer och korrosiva miljöer, vilket gör dem oumbärliga för högprecisionshalvledartillverkning. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande SiC Wafer-susceptorer för MOCVD som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.
Läs merSkicka förfråganSemicorex Wafer Carriers med SiC-beläggning, en integrerad del av det epitaxiella tillväxtsystemet, kännetecknas av sin exceptionella renhet, motståndskraft mot extrema temperaturer och robusta tätningsegenskaper, och fungerar som en bricka som är nödvändig för att stödja och värma halvledarwafers under kritisk fas av epitaxiell skiktavsättning, vilket optimerar den övergripande prestandan för MOCVD-processen. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande waferbärare med SiC-beläggning som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.
Läs merSkicka förfråganSemicorex GaN Epitaxy Carrier är central i halvledartillverkning, och integrerar avancerade material och precisionsteknik. Utmärkt av sin CVD SiC-beläggning erbjuder denna bärare exceptionell hållbarhet, termisk effektivitet och skyddande egenskaper, och etablerar sig som en framstående i branschen. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande GaN Epitaxy Carrier som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC-belagda Wafer Disc representerar ett ledande framsteg inom halvledartillverkningsteknologi, och spelar en viktig roll i den komplexa processen att tillverka halvledare. Denna skiva är konstruerad med noggrann precision och är tillverkad av överlägsen SiC-belagd grafit, vilket ger enastående prestanda och hållbarhet för kiselepitaxiapplikationer. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande SiC-belagda Wafer Disc som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.
Läs merSkicka förfråganSemicorex SiC Wafer Tray är en viktig tillgång i Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD)-processen, noggrant utformad för att stödja och värma halvledarwafers under det väsentliga steget av epitaxiallageravsättning. Denna bricka är en del av tillverkningen av halvledarenheter, där precisionen i lagertillväxten är av yttersta vikt. Vi på Semicorex är dedikerade till att tillverka och leverera högpresterande SiC Wafer Tray som förenar kvalitet med kostnadseffektivitet.
Läs merSkicka förfrågan