Waferhållare för ICP-etsning

Semicorex waferhållare för ICP Etching Process är det perfekta valet för krävande waferhantering och tunnfilmsavsättningsprocesser. Vår produkt har överlägsen värme- och korrosionsbeständighet, jämn termisk enhetlighet och optimala laminära gasflödesmönster för konsekventa och tillförlitliga resultat.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Välj Semicorex Wafer Holder för ICP Etching Process för pålitlig och konsekvent prestanda vid waferhantering och tunnfilmsavsättningsprocesser. Vår produkt erbjuder oxidationsbeständighet vid hög temperatur, hög renhet och korrosionsbeständighet mot syra, alkali, salt och organiska reagenser.
Vår waferhållare för ICP-etsningsprocessen är designad för att uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret, vilket säkerställer en jämn termisk profil. Detta hjälper till att förhindra kontaminering eller spridning av föroreningar, vilket säkerställer högkvalitativ epitaxiell tillväxt på waferchipset.
Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår waferhållare för ICP-etsningsprocess.

Parametrar för waferhållare för ICP-etsningsprocess

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC Î² fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	Î¼m	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300â)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300