Semicorex 4-tums SIC-båtar är högpresterande skivbärare designade för överlägsen termisk och kemisk stabilitet vid halvledartillverkning. Semicorex litar på avancerad materialkompetens med precisionsteknik för att leverera produkter som förbättrar avkastning, tillförlitlighet och driftseffektivitet.*
Semicorex 4-tums SIC-båtar är konstruerade för att uppfylla de krävande kraven i moderna halvledarprocesser, särskilt i högtemperatur och frätande miljöer. Byggd med precision från hög renhetSic -material, dessa båtar erbjuder exceptionell termisk stabilitet, mekanisk styrka och kemisk resistens-vilket gör dem idealiska för säker hantering och bearbetning av 4-tums skivor under diffusion, oxidation, LPCVD och andra högtemperaturbehandlingar.
Tillverkningsprocessen för halvledarskivor täcker huvudsakligen tre steg: (Front Stage) Chip Manufacturing, (Middle Stage) Chip Manufacturing, (Back Stage) förpackning och testning. (Front Stage) Chiptillverkningsprocessen inkluderar huvudsakligen: dra enstaka kristaller, slipning av yttre cirklar, skivning, avfasning, slipning och polering, rengöring och testning; (Middle Stage) Wafer Chip Manufacturing inkluderar huvudsakligen: oxidation, diffusion och andra värmebehandlingar, tunnfilmavlagring (CVD, PVD), litografi, etsning, jonimplantation, metallisering, slipning och polering och testning; (Baksidan) Förpackning och testning innebär huvudsakligen skräpskärning, trådbindning, tätning av plast, testning, etc. Hela halvledarindustrins kedja inkluderar IC -design, IC -tillverkning och IC -förpackning och testning. De viktigaste processprocesserna och utrustningen inkluderar: litografi, etsning, jonimplantation, tunnfilmavsättning, kemisk mekanisk polering, värmebehandling med hög temperatur, förpackning, testning etc.
I processen med halvledarchiptillverkning kräver de sex viktiga processerna för hög temperaturvärmebehandling, deponering (CVD, PVD), litografi, etsning, jonimplantation och kemisk mekanisk polering (CMP) inte bara banbrytande utrustning, utan också ett stort antal högperformer Precision Cheramic Components in i dessa utrustning, inklusive Electratatic, VACCUTICE, FOWER, FOWER, FOWER, FOWER, FOWER, FOWER, ringar, munstycken, arbetsbänkar, hålrumsfoder, deponeringsringar, piedestaler, skivbåtar, ugnsrör, utskjutande paddlar, keramiska kupoler och hålrum etc.
Varje 4-tums SIC-båt genomgår strikt kvalitetskontroll, inklusive dimensionell inspektion, platthetsmätning och termisk stabilitetstest. Ytfinish och slotgeometri kan skräddarsys efter kundspecifikationer. Valfria beläggningar och polering kan ytterligare förbättra kemisk resistens eller minimera mikro-partikelretention för ultra-cleanroom-applikationer.
När precision, renhet och hållbarhet är kritiska, vår 4-tumsSicBåtar ger en överlägsen lösning för avancerad halvledarbehandling. Lita på vår expertis och materiella excellens för att förbättra din processprestanda och avkastning.