Batch Wafer Båt

Semicorex tillhandahåller waferbåtar, piedestaler och specialanpassade waferbärare för både vertikala/pelare och horisontella konfigurationer. Vi har varit tillverkare och leverantör av kiselkarbidbeläggningsfilm i många år. Vår Batch Wafer Boat har en bra prisfördel och täcker de flesta europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex Batch Wafer Boat är gjord av högkvalitativt kiselkarbidkeramiskt material för överlägsen kemisk resistens och termisk stabilitet.
Vår Batch Wafer Boat har en slät ytfinish och ger utmärkt waferstöd och skydd under bearbetning. SiC-beläggningen säkerställer enhetlighet och stabilitet under bearbetningen, vilket skyddar wafers från kontaminering och skador. Med utmärkt värmeledningsförmåga och överlägsen mekanisk styrka ger våra waferhållare konsekventa och pålitliga resultat.
Vårt team av experter är engagerade i att tillhandahålla bästa kvalitet och service. Vi erbjuder skräddarsydda design för att möta dina specifika krav, och våra batch wafer-båtar stöds av vårt kvalitetssäkringsprogram.

Parametrar för Batch Wafer Boat

Tekniska egenskaper
Index	Enhet	Värde
Materialnamn		Reaktionssintrad kiselkarbid	Trycklös sintrad kiselkarbid	Omkristalliserad kiselkarbid
Sammansättning		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Böjningsstyrka	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Kompressionsstyrka	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hårdhet	Knapp	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Värmeledningsförmåga	W/m.k	95	120	23
Koefficient för termisk expansion	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifik värme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastisk modul	Gpa	360	410	240

Skillnaden mellan SSiC och RBSiC:

1. Sintringsprocessen är annorlunda. RBSiC ska infiltrera fritt Si i kiselkarbid vid låg temperatur, SSiC bildas genom naturlig krympning vid 2100 grader.

2. SSiC har slätare yta, högre densitet och högre hållfasthet, för vissa tätningar med strängare ytkrav blir SSiC bättre.

3. Olika använd tid under olika PH och temperatur, SSiC är längre än RBSiC

Funktioner i Batch Wafer Boat

- Hög hållfasthet (Mohs hårdhet 9,5, näst efter diamant)
- Korrosionsbeständighet mot syror, alkalier, salter och organiska lösningsmedel
- Hög värmeledningsförmåga, plasmaresistens, lång livslängd
- Halvledare