Keramisk waferbåt

Semicorex tillhandahåller waferbåtar, piedestaler och specialanpassade waferbärare för både vertikala/pelare och horisontella konfigurationer. Vi har varit tillverkare och leverantör av kiselkarbidbeläggningsfilm i många år. Vår Ceramic Wafer Boat har en bra prisfördel och täcker de flesta europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Vi presenterar vår högkvalitativa keramiska waferbåt av kiselkarbid, designad för att tillhandahålla en pålitlig lösning för bearbetning av wafer i olika industrier. Dessa keramiska piedestaler är tillverkade av keramik med hög renhet, som erbjuder utmärkt motståndskraft mot termisk chock, nötning och kemisk korrosion, vilket gör dem idealiska för tuffa miljöer för bearbetning av skivor.
Vår keramiska wafer-båt är också mycket anpassad, och vi kan arbeta med dig för att skapa anpassade piedestaler för att möta dina unika specifikationer. Vi är stolta över vår förmåga att leverera högkvalitativa, pålitliga produkter som uppfyller våra kunders krav. Vår keramiska waferbåt är gjord för att hålla och erbjuda en lång livslängd, vilket säkerställer att du får ut det mesta av din investering.
Beställ nu och upplev fördelarna med vår högkvalitativa keramiska waferbåt i din waferbearbetningsverksamhet.

Parametrar för Ceramic Wafer Boat

Tekniska egenskaper
Index	Enhet	Värde
material namn		Reaktionssintrad kiselkarbid	Trycklös sintrad kiselkarbid	Omkristalliserad kiselkarbid
Sammansättning		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Böjhållfasthet	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100 (1400°C)
Tryckhållfasthet	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hårdhet	Knoop	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Värmeledningsförmåga	W/m.k	95	120	23
Värmeutvidgningskoefficient	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifik värme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elasticitetsmodul	Gpa	360	410	240

Skillnaden mellan SSiC och RBSiC:

1. Sintringsprocessen är annorlunda. RBSiC ska infiltrera fritt Si i kiselkarbid vid låg temperatur, SSiC bildas genom naturlig krympning vid 2100 grader.

2. SSiC har slätare yta, högre densitet och högre hållfasthet, för vissa tätningar med strängare ytkrav blir SSiC bättre.

3. Olika använd tid under olika PH och temperatur, SSiC är längre än RBSiC

Funktioner hos Ceramic Wafer Boat

Tillverkad av aluminiumoxidkeramik med hög renhet för utmärkt motståndskraft mot termisk chock, nötning och kemisk korrosion
Designad för optimalt stöd och stabilitet under waferbearbetning, vilket minimerar risken för skada eller kontaminering
Finns i en mängd olika storlekar för att passa olika waferdiametrar och tjocklekar
Anpassningsbar för att möta unika specifikationer
Byggd för att hålla och ge lång livslängd