Keramisk Wafer Carrier

Semicorex tillhandahåller keramik av halvledarkvalitet för dina OEM-halvledarverktyg och waferhanteringskomponenter med fokus på kiselkarbidlager i halvledarindustrier. Vi har varit tillverkare och leverantör av Ceramic Wafer Carrier i många år. Våra produkter har en bra prisfördel och täcker de flesta av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Silicon Carbide Keramiska Wafer Carrier har god motståndskraft mot korrosion och utmärkt motståndskraft mot höga temperaturer och termisk chock. En hög elasticitetsmodul resulterar dessutom i utmärkt dimensionsstabilitet. Dessutom finns det nollporositet och låg pordensitet hos det keramiska materialet.
Vi kan bearbeta alla typer av keramiska waferbärare efter kundernas krav.

Parametrar för Ceramic Wafer Carrier

Tekniska egenskaper
Index	Enhet	Värde
Materialnamn		Reaktionssintrad kiselkarbid	Trycklös sintrad kiselkarbid	Omkristalliserad kiselkarbid
Sammansättning		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Böjningsstyrka	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Kompressionsstyrka	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hårdhet	Knapp	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Värmeledningsförmåga	W/m.k	95	120	23
Koefficient för termisk expansion	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifik värme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastisk modul	Gpa	360	410	240

Semicorex producerade Ceramic Wafer Carrier i tre former, reaktionssintrad kiselkarbid (RBSiC), trycklös sintrad kiselkarbid (SSiC) och Rekristall kiselkarbid (R-SiC).

Skillnaden mellan SSiC och RBSiC:

1. Sintringsprocessen är annorlunda. RBSiC ska infiltrera fritt Si i kiselkarbid vid låg temperatur, SSiC bildas genom naturlig krympning vid 2100 grader.

2. SSiC har slätare yta, högre densitet och högre hållfasthet, för vissa tätningar med strängare ytkrav blir SSiC bättre.

3. Olika använd tid under olika PH och temperatur, SSiC är längre än RBSiC

Funktioner hos Ceramic Wafer Carrier

SiC-belagd grafit med hög renhet
Överlägsen värmebeständighet och termisk enhetlighet
Fin SiC-kristallbelagd för en slät yta
Hög hållbarhet mot kemisk rengöring
Materialet är utformat så att sprickor och delaminering inte uppstår.

Tillgängliga former av kiselkarbidkeramik:

● Keramisk stav / keramisk stift / keramisk kolv

● Keramiskt rör / keramisk bussning / keramisk hylsa

● Keramisk ring / keramisk bricka / keramisk distans

● Keramisk skiva

● Keramisk platta / keramiskt block

● Keramisk kula

● Keramisk kolv

● Keramiskt munstycke

● Keramisk degel

● Andra specialanpassade keramiska delar