GaN-on-Si Epi Wafer Chuck

Semicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck är en integrerad del av halvledartillverkning, vilket möjliggör stabilt och pålitligt stöd under kritiska processer som deponering, etsning och litografi. GaN-on-Si Epi Wafer Chuck säkerställer effektiv värmeavledning och bibehåller en jämn temperaturfördelning över wafern för att förhindra termiska gradienter som kan orsaka defekter. GaN-on-Si Epi Wafer Chuck finns i olika storlekar och konfigurationer för att tillgodose olika waferdimensioner och bearbetningskrav, vilket erbjuder flexibilitet för olika behov av halvledartillverkning.

Applikationer:

Epitaxiell tillväxt: GaN-on-Si Epi Wafer Chuck ger en stabil plattform för tillväxt av högkvalitativa GaN-lager på kiselsubstrat, GaN-on-Si Epi Wafer Chuck är avgörande för högpresterande elektroniska och optoelektroniska enheter.

Etsning och deponering: Underlättar enhetlig materialavlägsning eller deponering, nyckeln för att uppnå de önskade strukturella och elektriska egenskaperna hos enheterna.

GaN-on-Si Epi Wafer Chuck är ett oumbärligt verktyg för halvledartillverkare som strävar efter att producera banbrytande GaN-baserade enheter, som erbjuder oöverträffad prestanda i precision, stabilitet och hållbarhet.