Wafer Acceptor

Semicorex Wafer Susceptor är sakkunnigt tillverkad av grafit och belagd med kiselkarbid (SiC) för att möta de krävande villkoren för modern halvledartillverkning.

I epitaxiprocesser är det absolut nödvändigt att upprätthålla en stabil och kontrollerad miljö. Wafer Susceptor fungerar som den grundläggande plattformen på vilken wafers placeras under deponering och uppfyller exakta krav på temperaturjämnhet, kemisk tröghet och mekanisk styrka för att uppnå epitaxiella skikt av hög kvalitet.

Valet av grafit som basmaterial för Wafer Susceptor drivs av dess utmärkta värmeledningsförmåga och mekaniska egenskaper. Grafits förmåga att motstå höga temperaturer samtidigt som den behåller strukturell integritet är avgörande i högtemperaturmiljöer i epitaxireaktorer. Dessutom säkerställer grafitens värmeledningsförmåga effektiv värmefördelning över skivan, vilket minskar risken för temperaturgradienter som kan leda till defekter i det epitaxiella lagret.

För att förbättra prestandan hos Wafer Susceptor, appliceras en kiselkarbid (SiC) beläggning sakkunnigt på grafitbasen. SiC är ett mycket hållbart material med överlägsen kemisk beständighet, vilket gör det idealiskt för användning i halvledarmiljöer där reaktiva gaser ofta förekommer. SiC-beläggningen ger en skyddande barriär som skyddar grafiten från potentiella kemiska reaktioner, vilket säkerställer wafersusceptorns livslängd och upprätthåller en ren miljö i reaktorn.

Semicorex Wafer Susceptor tillverkad av SiC-belagd grafit är en oumbärlig komponent i halvledarepitaxiprocesser. Dess kombination av grafitens termiska och mekaniska egenskaper med den kemiska och termiska stabiliteten hos kiselkarbid gör den idealisk för de rigorösa kraven från modern halvledartillverkning. Designen med en skiva ger exakt kontroll över epitaxiprocessen, vilket bidrar till produktionen av högkvalitativa halvledarenheter. Denna susceptor säkerställer att wafers hanteras med största försiktighet och precision, vilket resulterar i överlägsna epitaxiella lager och bättre presterande halvledarprodukter.