> Produkter > Keramisk > Kiselkarbid (SiC) > Gasinloppsring för halvledarutrustning

Produkter

Nya produkter

Gasinloppsring för halvledarutrustning

Semicorex är en storskalig tillverkare och leverantör av kiselkarbidbelagd grafitsusceptor i Kina. Vi fokuserar på halvledarindustrier som kiselkarbidskikt och epitaxihalvledare. Vår gasinloppsring för halvledarutrustning har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex gasinloppsring för halvledarutrustning är SiC Coated, vilket är en tät, slitstark kiselkarbid (SiC) beläggning. Den har höga korrosions- och värmebeständighetsegenskaper samt utmärkt värmeledningsförmåga. Vi applicerar SiC i tunna lager på grafiten med den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD).

Vår gasinloppsring för halvledarutrustning är designad för att uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret, vilket säkerställer en jämn termisk profil. Detta hjälper till att förhindra kontaminering eller spridning av föroreningar, vilket säkerställer högkvalitativ epitaxiell tillväxt på waferchipset.

Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår gasinloppsring för halvledarutrustning.

Parametrar för gasinloppsring för halvledarutrustning

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300