Horisontella kammarugn Sic -båtar

Semicorex Horisontella kammarugn Sic-båtar är en högt konstruerad del som rymmer och bär skivor eller underlag medan de utsätts för termisk bearbetning av högtemperatur i en horisontell kammarugn. Wafer-båten är gjord av SiC-bundna med hög renhet kiselkarbid (sic), som ger den unika kombinationen av styrka, termisk stabilitet och hög kemisk resistens som krävs i halvledar-, fotovoltaiska och avancerade keramikprocesser. Wafer -båten fungerar också som en styv struktur för att hålla skivor på plats, den dimensionella stabiliteten och precisionen hos skivorna kommer inte att gå förlorade genom utökad exponering för extrema processtemperaturer.

De överlägsna egenskaperna hos kiselkarbid ger den horisontella kammarugnen Sic -båtar en överlägsen prestationsfördel jämfört med typiska material för skivbåtar som kvarts eller aluminiumoxid. De kan bättre tåla sällsynta uppvärmning och kylningscykler på kort varelse på grund av deras höga smältpunkt, termisk chockmotstånd och mekanisk styrka, oavsett hastigheten för uppvärmning och kylning eller extremer i den termiska cykeln. Eftersom en horisontell ugn förlitar sig helt på konsistensen i skivans positioner och exponering av processförhållanden, ger korrekt justering av skivor för konsekvent processutbyte och repeterbarhet. Den låga värmekoefficienten innebär att båten inte kommer att förvränga över dess livslängd och ge bibehållen form och avstånd på skivorna.

Den finkorniga, täta strukturen för omkristalliserad SIC ger anmärkningsvärd resistens mot oxidation, korrosion och förorening genom processgaser och biprodukter. Detta gör båten särskilt fördelaktig för processer i aggressiva atmosfärer som diffusion, oxidation, LPCVD och glödgning. SIC: s höga kemiska inerthet undviker reaktioner med skivytorna, vilket bevarar produktrenheten och minimerar partikelproduktion i ugnen. SIC -båtar kan hjälpa tillverkare som behöver uppfylla stränga renlighetskrav, tillhandahålla renare bearbetningsmiljöer och förbättrade skivkvaliteten.

Dessa båtar kan produceras med olika komplexa geometrier och delspecifika dimensioner med precisionsbearbetning och formningstekniker. Konstruktionerna använder vanligtvis flera parallella spår/spår för att hålla skivorna säkert i en horisontell orientering och exponerar jämnt hela skivytan för termiska förhållanden. Slot-till-slotavstånd och vinklar kan också optimeras för att passa skivor med andra diametrar, såsom 150 mm, 200 mm eller 300 mm, och direkt luftflöde under bearbetningseffekter samtidigt som temperaturens enhetlighet uppnås.

Inte bara kan de horisontella kammarugn SIC-båtarna utformas i standardavgångar, utan de kan utformas för att arbeta med automatiserade skivlastare, vilket resulterar i en sömlös integration i moderna produktionslinjer med hög genomströmning. Den robusta designen kommer också att göra båtarna mindre benägna att chippa eller bryta under hanteringen och minska driftsstopp och kostnader för ersättare.

Värmeledningsförmågan hoskiselkarbidrepresenterar en annan viktig fördel som underlättar effektiv värmeöverföring mellan skivorna och ugnsmiljön. Fördelen är att tillverkarna kan uppnå mer enhetliga bearbetningsförhållanden och förkorta cykeltider, vilket kan öka produktionseffektiviteten. SIC -båtarna ger konsekventa och repeterbara resultat oavsett om de används för tillverkning av halvledarskivor, tillverkning av solcell eller annan avancerad materialbehandling vid förhöjda temperaturer.

Sammanfattningsvis är de horisontella kammarugn SIC-båtarna en viktig komponent för tillverkare som vill producera skivor med högpresterande, långvariga och förorenande resistenta skivbärare. Den har en mekanisk styrka, termisk stabilitet och kemisk inerthet som är ojämlik i horisontella ugnar. Genom att välja kiselkarbidbåtar kan operatörerna utnyttja bättre processkontroll, högre avkastning och minimera operativa avbrott på grund av underhåll. Sammantaget ger det effektivare, kostnadseffektiva produktioner.