Horisontella kiselkarbidbåtar

Semicorex horisontellkiselkarbidbåtarär integrerat utformade med hjälp av 3D-utskriftsteknik och tillverkas sedan genom högtemperatursintring. Dessa komponenter är specialbyggda för att passa olika horisontella ugnsstorlekar med hög temperatur, och de används i stor utsträckning för att stabilt säkra kvarhållning av skivor i kritiska tillverkningsprocesser för högtemperaturhalvledartillverkning, inklusive diffusion, oxidation och kemisk ångavsättning.

Fysikalisk-kemiska egenskaper hos kiselkarbid

Fördelarna med Semicorex horisontell kiselkarbidbåts

1. Stabilt stöd och position

Den oöverträffade materialstyrkan och hårdheten ger Semicorex horisontella kiselkarbidbåtar utmärkt stödkapacitet, vilket gör det möjligt för dem att stabilt bära flera wafers samtidigt. Genom precisionsbearbetning av spår kan Semicorex horisontella kiselkarbidbåtar fixera och säkert hålla halvledarskivor. Den jämnt fördelade slitsstrukturen säkerställer att wafers bibehåller en fast position under hela bearbetningscykeln, vilket garanterar konsistensen och precisionen i halvledartillverkningsprocesser.

2.Kompatibilitet med komplexa driftsförhållanden

Tack vare sin överlägsna högtemperaturbeständighet och korrosionsbeständighet klarar Semicorex horisontella kiselkarbidbåtar stränga driftsmiljöer, såsom högtemperaturatmosfärer av syre, kväve eller lågkoncentrerad väteklorid. Dessa exceptionella materialegenskaper kan effektivt förhindra korrosion och skador orsakade av korrosiva gaser vid hög temperatur, vilket avsevärt förlänger båtarnas livslängd.

3. Exceptionell renhetsprestanda

Till skillnad från konventionella kiselkarbidbelagda grafitbåtar, är Semicorex horisontella kiselkarbidbåtar tillverkade av halvledarkvalitet med hög renhetkiselkarbid(99,999%) med ultralågt innehåll av föroreningar. Detta förstklassiga materialval eliminerar risken för att föroreningar utgasar eller att beläggningen flagnar, även när den utsätts för höga temperaturer och tuffa korrosiva miljöer. Dessutom utsätts var och en av våra kiselkarbidbåtar för stränga ultraljudsrengöringsprocesser innan vakuumförpackning, vilket garanterar överensstämmelse med de renhetsstandarder som krävs av avancerade halvledartillverkningsprocesser.