MOCVD inloppsringar

Semicorex är en storskalig tillverkare och leverantör av kiselkarbidbelagd grafit i Kina. Våra MOCVD-inloppsringar har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex levererar MOCVD-inloppsringar som används vid deponering och waferbearbetning, vilket är riktigt stabilt för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring. Våra MOCVD-inloppsringar har hög renhet kiselkarbid (SiC) belagd grafitkonstruktion, som ger överlägsen värmebeständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och beständighet, och hållbar kemisk beständighet. Fin SiC-kristallbeläggning ger en ren, slät yta, kritisk för hantering eftersom orörda wafers kommer i kontakt med susceptorn på många punkter över hela sitt område.

På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativa, kostnadseffektiva MOCVD-inloppsringar, vi prioriterar kundnöjdhet och tillhandahåller kostnadseffektiva lösningar. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner, leverera högkvalitativa produkter och exceptionell kundservice.

Parametrar för MOCVD-inloppsringar

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300