Plasmabearbetningsfokusring

Semicorex Plasma-bearbetningsfokusring är speciellt utformad för att möta de höga kraven på plasmaetsningsbearbetning inom halvledarindustrin. Våra avancerade kiselkarbidbelagda komponenter med hög renhet är byggda för att motstå extrema miljöer och är lämpliga för användning i olika applikationer, inklusive kiselkarbidskikt och epitaxihalvledare.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Vår plasmabearbetningsfokusring är mycket stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring, vilket gör dem till ett idealiskt val för användning i plasmaetsning (eller torretsning) kammare. Våra fokusringar eller kantringar är utformade för att förbättra etsningslikformigheten runt waferns kant eller omkrets, och är konstruerade för att minimera kontaminering och oplanerat underhåll.

Vår SiC-beläggning är en tät, slitstark kiselkarbidbeläggning med höga korrosions- och värmebeständighetsegenskaper samt utmärkt värmeledningsförmåga. Vi applicerar SiC i tunna lager på grafiten med den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD). Detta säkerställer att våra SiC Focus Rings har överlägsen kvalitet och hållbarhet, vilket gör dem till ett pålitligt val för dina plasmaetsningsbehov.

Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår fokusring för plasmabehandling.

Parametrar för plasmabearbetningsfokusring

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner hos plasmabearbetningsfokusring

- CVD Silicon Carbide beläggningar för att förbättra livslängden.

- Värmeisolering gjord av högpresterande renat styvt kol.

- Kol/kolkompositvärmare och platta. - Både grafitsubstratet och kiselkarbidskiktet har en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.

- Högren grafit och SiC-beläggning för nålhålsbeständighet och längre livslängd