Porösa SiC-vakuumchuckar

Semicorex porös SiCvakuumchuckarär de oumbärliga komponenterna, som kan användas i stor utsträckning i de avancerade halvledartillverkningsprocesserna, såsom skivförtunning, tärning, slipning, polering, fotolitografi, etsning. Deras adsorptionsplattform är konstruerad med en porös SiC-keramisk platta med många jämnt fördelade porer i mikronskala. Med konsekvent pordiameter och exceptionell genomgående hålhastighet ger Semicorex porösa SiC-vakuumchuckar en jämn gasbana för vakuumevakuering. Under drift genereras det stabila och likformiga undertrycket mellan chucken och skivan, vilket möjliggör högeffektiv vakuumklämning och frigöring av halvledarskivor.

Fördelar med Semicorex porösa SiC vakuumchuckar 

1. Exceptionell bearbetningsprecision

Halvledarskivor som bearbetas i avancerad halvledartillverkning är extremt tunna, så även lätt böjning, vibrationer eller ojämn lokal påfrestning kan leda till waferbrott, skevhet och minskad noggrannhet i kritiska processer som litografi. Semicorexporös SiCVakuumchuckar bearbetas genom högprecisionsslipning och polering, vilket uppnår en perfekt ytråhet på Ra ＜ 0,1 μm. Detta gör det möjligt för Semicorex porösa SiC-vakuumchuckar att ge en optimerad driftsyta för högprecisionshalvledartillverkning.

2. Hög renlighet och hög korrosionsbeständighet

För att till fullo uppfylla de strikta standarderna för renhet av halvledarprodukter, tillverkar Semicorex porösa SiC-vakuumchuckar med kiselkarbidråmaterial av hög renhet via sintring med hög temperatur. Detta säkerställer att chuckarna är fria från partikelavfall och migrerbar metallisk förorening. Genom att dra nytta av den utmärkta kemiska stabiliteten hos SiC, kan Semicorex porösa SiC-vakuumchuckar motstå de hårda korrosionsmiljöerna och generera inga extra biprodukter, vilket gör dem mycket lämpade för högkvalitativa rena halvledartillverkningsprocesser.

3. Utmärkt hållbarhet och långsiktig stabilitet

Vakuumchuckar som används i produktionslinjer måste motstå tusentals adsorptions- och frisättningscykler, såväl som långvariga temperaturfluktuationer. Detta ställer extremt höga krav på materialprestanda hos vakuumchuckar. Semicorex porösa SiC-vakuumchuckar har enastående materialhårdhet och slitstyrka, med stabil termisk expansion. De visar ingen krypning eller prestandaförsämring vid höga temperaturer, vilket avsevärt förlänger deras livslängd och minskar komponentunderhåll och utbytesfrekvens.