Produkter

Semicorex Silicon Carbide SiC Vacuum Chucks är precisionskomponenter som håller i keramiska skivor konstruerade för högnoggrannhet i halvledarbearbetning, och erbjuder exceptionell termisk stabilitet, överlägsen planhet och ultraren vakuumadsorptionsprestanda. Semicorex kombinerar avancerad SiC-materialteknologi, precisionsbearbetningsförmåga och strikt kvalitetskontroll av halvledarkvalitet för att leverera mycket tillförlitliga vakuumchucklösningar för kunder över hela världen.*

Semicorex porösa SiC-vakuumchuckar är tillverkade av högkvalitativ porös kiselkarbidkeramik och är högprecisionsverktygen för waferklämning som är speciellt utformade för ren, skadafri hantering av tunna och ömtåliga wafers. Genom att välja Semicorex kommer du att njuta av de optimala waferklämnings- och positioneringslösningarna för banbrytande halvledartillverkningsprocesser.

Semicorex smälta kvartsdeglar med hög renhet, gjorda av högrent kvartsmaterial av halvledarkvalitet, är de kritiska behållarna i den banbrytande halvledartillverkningen. Semicorex smältdeglar med hög renhet av kvarts är de idealiska kvartslösningarna som utformats specifikt för enkristallkiseltillväxtprocessen i enkristallugnar med hög temperatur.

Semicorex porös tantalkarbidkeramik är den högpresterande porösa keramen som konstruerats specifikt i den fysiska ångtransportprocessen (PVT). Dess speciella porösa struktur och utmärkta egenskaper spelar en viktig roll för att underlätta tillväxten av högkvalitativ kiselkarbidkristall. Genom att välja Semicorex får du idealiska porösa keramiska lösningar med jämn kvalitet och stabil prestanda för avancerad halvledartillverkning.

Semicorex keramiska fokusringar för halvledare är de högpresterande ringdelarna gjorda av CVD SiC-material, som är speciellt konstruerade för högintensiva plasmaetsningsmiljöer. Semicorex är en branschledande tillverkare av CVD SiC keramiska fokusringar för halvledare, vi ser fram emot din förfrågan.

Semicorex poly-Si yttre ringar för etsning är de precisionsbearbetade ringdelarna gjorda av polysilikonmaterial. Semicorex poly-Si yttre ringar för etsning är speciellt framtagna för elektrodsystemen i avancerad etsutrustning och kan effektivt säkerställa stabiliteten i etsningsprocessen. Att välja Semicorex innebär att du får de högkvalitativa poly-Si yttre ringarna för etsning som kan förbättra waferutbytet och driftseffektiviteten.