Produkter

Semicorex SiC-belagda grafitwafer-susceptorer är de oumbärliga grafitwafer-bärarna täckta med en tät och enhetlig CVD SiC-beläggning, som är konstruerade speciellt för high-end halvledar-MOCVD epitaxiella tillväxtsystem. Att välja Semicorex innebär att du kan få kostnadseffektiva priser, överlägsen produktkvalitet och en pålitlig serviceupplevelse.

Semicorex SiC-belagda planetsusceptorer är högprecisionsgrafitbärande komponenter täckta med en tät kiselkarbidbeläggning, speciellt framtagen för den avancerade MOCVD-utrustningen. De kan möjliggöra ett enhetligt gasflöde och termisk distribution, vilket bidrar till att skapa en optimal epitaxiell miljö.

Semicorex Quartz Susceptor Support är designat specifikt för epitaxiella halvledarugnar. Dess högrena material och exakta struktur möjliggör noggrann lyft- och positionskontroll av brickor eller provhållare i reaktionskammaren. Semicorex kan tillhandahålla skräddarsydda kvartslösningar med hög renhet, vilket säkerställer långsiktig prestandastabilitet för varje stödkomponent i högvakuum, hög temperatur och mycket korrosiva halvledarprocessmiljöer genom avancerad processteknik och strikt kvalitetskontroll.*

Semicorex 1x2" grafitwafer susceptorer är de högpresterande bärande komponenterna speciellt framtagna för 2-tums wafers, som är väl lämpade för den epitaxiella processen för halvledarwafers. Välj Semicorex för branschledande materialrenhet, precisionsteknik och oöverträffad tillförlitlighet i krävande epitaxiell tillväxtmiljö.

Semicorex TaC-belagda susceptorer av grafitskivor är de banbrytande komponenterna som vanligtvis används för att stabilt stödja och positionera halvledarskivorna under de avancerade halvledarepitaxialprocesserna. Genom att utnyttja den senaste produktionstekniken och mogen tillverkningserfarenhet är Semicorex förbundit sig att leverera de specialkonstruerade TaC-belagda grafitwafer-susceptorerna med marknadsledande kvalitet till våra uppskattade kunder.

Semicorex CVD TaC-belagda susceptorer är högpresterande grafitsusceptorer med en tät TaC-beläggning, designade för att leverera utmärkt termisk enhetlighet och korrosionsbeständighet för krävande SiC epitaxiella tillväxtprocesser. Semicorex kombinerar avancerad CVD-beläggningsteknik med strikt kvalitetskontroll för att tillhandahålla långvariga susceptorer med låg kontaminering som är betrodda av globala SiC epi-tillverkare.*