1x2" Graphite Wafer Susceptorer

Vid tillverkning av halvledarskivor måste det epitaxiella skiktet odlas på skivsubstratet för efterföljande tillverkning av halvledaranordningar. Eftersom den epitaxiella tillväxtprocessen är mycket känslig för temperaturfluktuationer och kontaminering, är valen av tillförlitligawafer susceptorerär kritiskt viktiga. Som de oumbärliga stöddelarna i wafer-epitaxialprocessen är bearbetningsprecisionen, termisk hanteringsförmåga och kontaminationsbeständighet avgörande faktorer för att uppnå högkvalitativ wafer-epitaxial tillväxt.

Funktionerna hos Semicorex 1x2" grafitwafer susceptorer

Semicorex 1x2" grafitwafersusceptorer är gjorda av ultrafinkornig grafit med hög renhet som matris med den täta kiselkarbidbeläggningen via speciella processer, och levererar följande funktioner:

1. Säker och inaktuell anläggning

Semicorex 1x2"grafitwafer susceptorer har precisionsbearbetning och behandling, vilket ger exceptionell ytplanhet och dimensionell noggrannhet. Detta säkerställer att de är ordentligt säkrade i en lämplig position och ger en stabil, platt stödplattform för epitaxiell tillväxt av wafer.

2. Precision enhetlig värmefördelning

Med den utmärkta värmeledningsförmågan hos grafit- och SiC-material ger Semicorex 1x2" grafitwafersusceptorer snabb och jämn värmefördelning över halvledarsubstansen. Genom att minimera temperaturgradienter kan Semicorex 1x2" grafitwafersusceptorer effektivt undvika problem som ojämn epitaxiell kvalitet och spänningskoncentration.

Fördelarna med Semicorex kiselkarbidbeläggning

1. Överlägsen korrosionsbeständighet

Täckta med den täta kiselkarbidbeläggningen, Semicorex 1x2" grafitwafer susceptorer är effektivt resistenta mot de flesta kemikalier, vilket gör dem lämpliga för applikationer i mycket korrosiva driftsförhållanden där materialet ofta utsätts för korrosiva gaser och kemiska ångor.

2. Låg partikelavgivning

Semicorexkiselkarbidbeläggninghar en hög bindningsstyrka med grafitmatrisen, vilket avsevärt kan undvika risken för substratkontamination på grund av att beläggningen lossnar på grund av korrosion och partikelnedfall orsakat av högkorrosionsmiljöer.

3. Pålitlig livslängd

Även om grafitmatriser uppvisar utmärkt termisk stabilitet och mekanisk hållfasthet, är de benägna att korrosion och pulveriseras under driftsförhållanden för epitaxiella processer, vilket avsevärt förkortar livslängden för obelagda grafitmatriser. Genom att helt kapsla in grafitmatriserna med täta SiC-beläggningar uppnår våra 1×2" grafitwafer susceptorer överlägsen och pålitlig hållbarhet.

Materialdata för Semicorex SiC Coating