Robot End Effector

Semicorex är en ledande oberoende ägd tillverkare av kiselkarbidbelagd grafit, precisionsbearbetad högrenhetsgrafit med fokus på kiselkarbidbelagd grafit, kiselkarbidkeramik, MOCVP inom halvledartillverkning. Vår Robot End Effector har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Robot End Effector är robotens hand som flyttar halvledarskivor mellan positioner i waferbearbetningsutrustning och bärare. Robot End Effector måste vara dimensionellt exakt och termiskt stabil, samtidigt som den har en slät, nötningsbeständig yta för att säkert hantera wafers utan att skada enheter eller producera partikelföroreningar. Vår kiselkarbidbeläggning med hög renhet (SiC) Robot End Effector ger överlägsen värmebeständighet, jämn termisk enhetlighet för konsekvent epi-skikttjocklek och beständighet, och hållbar kemisk beständighet.

Parametrar för Robot End Effector

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300