RTP SiC Coating Carrier

Semicorex RTP SiC Coating Carrier erbjuder överlägsen värmebeständighet och termisk enhetlighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för applikationer för bearbetning av halvledarskivor. Med sin högkvalitativa SiC-belagda grafit är denna produkt designad för att motstå den hårdaste avsättningsmiljön för epitaxiell tillväxt. Den höga värmeledningsförmågan och utmärkta värmefördelningsegenskaperna säkerställer tillförlitlig prestanda för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Vår RTP SiC Coating Carrier är konstruerad för att motstå de tuffaste förhållanden i deponeringsmiljön. Med sin höga värme- och korrosionsbeständighet utsätts epitaxisusceptorerna för den perfekta avsättningsmiljön för epitaxiell tillväxt. Den fina SiC-kristallbeläggningen på bäraren säkerställer en slät yta och hög hållbarhet mot kemisk rengöring, samtidigt som materialet är konstruerat för att förhindra sprickor och delaminering.
På Semicorex fokuserar vi på att tillhandahålla högkvalitativ, kostnadseffektiv RTP SiC-beläggningsbärare, vi prioriterar kundnöjdhet och tillhandahåller kostnadseffektiva lösningar. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner, leverera högkvalitativa produkter och exceptionell kundservice.
Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår RTP SiC Coating Carrier.

Parametrar för RTP SiC Coating Carrier

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner hos RTP SiC Coating Carrier

SiC-belagd grafit med hög renhet
Överlägsen värmebeständighet och termisk enhetlighet
Fin SiC-kristallbelagd för en slät yta
Hög hållbarhet mot kemisk rengöring
Materialet är utformat så att sprickor och delaminering inte uppstår.