Semicorex RTP-bärare är kiselkarbidbelagd med den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD), som är riktigt stabil för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring. I kärnan av halvledarprocessen, epitaxisusceptorerna, utsätts först för avsättningsmiljön, så den har hög värme- och korrosionsbeständighet. Den SiC-belagda bäraren har också en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.
â SiC-belagd grafit med hög renhet
â Överlägsen värmebeständighet och kemikaliebeständighet
â Hög termisk enhetlighet
â Utmärkt slitstyrka
Semicorex RTP-bärare för MOCVD Epitaxial Growth är idealisk för applikationer för bearbetning av halvledarwafer, inklusive epitaxiell tillväxt och bearbetning av waferhantering. Kolgrafitsusceptorer och kvartsdeglar bearbetas av MOCVD på ytan av grafit, keramik etc. Våra produkter har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.
Läs merSkicka förfrågan