> Produkter > Silikonkarbidbelagd > RTP-operatör > RTP-bärare för epitaxiell MOCVD-tillväxt

Produkter

Nya produkter

RTP-bärare för epitaxiell MOCVD-tillväxt

Semicorex RTP-bärare för MOCVD Epitaxial Growth är idealisk för applikationer för bearbetning av halvledarskivor, inklusive epitaxiell tillväxt och bearbetning av waferhantering. Kolgrafitsusceptorer och kvartsdeglar bearbetas av MOCVD på ytan av grafit, keramik etc. Våra produkter har en bra prisfördel och täcker många av de europeiska och amerikanska marknaderna. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Skicka förfrågan

Produktbeskrivning

Semicorex levererar RTP Carrier för MOCVD Epitaxial Growth som används för att stödja wafers, vilket är riktigt stabilt för RTA, RTP eller hård kemisk rengöring. Kärnan i processen, epitaxisusceptorerna, utsätts först för deponeringsmiljön, så den har hög värme- och korrosionsbeständighet. Den SiC-belagda bäraren har också en hög värmeledningsförmåga och utmärkta värmefördelningsegenskaper.
Vår RTP-bärare för MOCVD Epitaxial Growth är designad för att uppnå det bästa laminära gasflödesmönstret, vilket säkerställer en jämn termisk profil. Detta hjälper till att förhindra kontaminering eller spridning av föroreningar, vilket säkerställer högkvalitativ epitaxiell tillväxt på waferchipset.
Kontakta oss idag för att lära dig mer om vår RTP-bärare för epitaxiell MOCVD-tillväxt.

Parametrar för RTP-bärare för epitaxiell MOCVD-tillväxt

Huvudspecifikationer för CVD-SIC-beläggning
SiC-CVD-egenskaper
Kristallstruktur	FCC β-fas
Densitet	g/cm³	3.21
Hårdhet	Vickers hårdhet	2500
Kornstorlek	μm	2~10
Kemisk renhet	%	99.99995
Värmekapacitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Felexural styrka	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt böj, 1300 ℃)	430
Termisk expansion (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Värmeledningsförmåga	(W/mK)	300

Funktioner hos RTP Carrier för MOCVD epitaxiell tillväxt

SiC-belagd grafit med hög renhet
Överlägsen värmebeständighet och termisk enhetlighet
Fin SiC-kristallbelagd för en slät yta
Hög hållbarhet mot kemisk rengöring
Materialet är utformat så att sprickor och delaminering inte uppstår.